真空等离子清洗机产生的辉光放电特点
在正常辉光放电的阴极区，正的净离子数密度是常数。当进入反常辉光区时，电流密度的增加引起电场的畸变阴极位降进一步提高，阴极位降区功率损耗越来越大，使阴极上发生溅射。阴极溅射是辉光放电阴极上一个特殊过程，如阴极溅射可以清除阴极表面不同性质的附着层，可以获得金属膜附着在金属、玻璃、陶瓷、云母等材料上面。
真空等离子清洗机产生的辉光放电特点
以阴极位降所表征的气体中电位分布，这一电位分布是由于空间电荷的影响，辉光放电区别于电弧放电是具有大的阴极位降，以及本身辐射引起的光电离等。被辉光覆盖着的并参加放电现象的阴极表面正比于管内电流强度，当电流减小或增加时，电流密度保持不变，并且阴极位降也保持不变，这时的放电称为正常辉光放电。
当电流增加到全部阴极表面被辉光覆盖时，阴极位降随电流强度及电流密度的增加前开始加大，这时进入反常辉光放电。正常辉光放电的阴极位降与气压无关，而决定于阴极材料及气体性质。
辉光放电的放电空间有特殊的光区分布，总的来说分为两大部分：*部分是放电的阴极部分，包括阿斯顿暗区、阴极辉区、阴极暗区、负辉区及法拉第暗区。前三个区称为阴极位降区，这一部分的电压降占管压降的大部分，为维持放电所必需的过程都集中在这里；第二部分称为阳极部分，包括正柱区、阳极暗区和阳极辉区。其中阴极部分并不具备等离子体的特征, 从正柱区一直到放电的阳极其他部分都是处于等离子体状态
真空等离子清洗机产生的辉光放电特点
在正常辉光放电的阴极区，正的净离子数密度是常数。当进入反常辉光区时，电流密度的增加引起电场的畸变阴极位降进一步提高，阴极位降区功率损耗越来越大，使阴极上发生溅射。阴极溅射是辉光放电阴极上一个特殊过程，如阴极溅射可以清除阴极表面不同性质的附着层，可以获得金属膜附着在金属、玻璃、陶瓷、云母等材料上面。
