MSA-100-3D显微式测振仪MSA-100-3D 显微式激光测振仪可在大带宽范围内实时测量样本的动态特性,高分辨率同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量,每向的振幅分辨率均达到亚皮米级。
MSA-100-3D显微式测振仪因激光光斑极小,所以横向分辨率*,且带宽高达 25 MHz,是用于微机电传感器(MEMS) 以及其他微结构振动测量的理想设备。通过软件移动样品,完成样品整个表面的振动分析,然后以图形方式显示振型。
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