此设备用气体作为处理介质，它是利用能量转换技术以电能将气体转换为化学反应性和活性很高的气体等离子体，等离子体对固体样品表面进行相互作用，引起分子结构改变，从而对样品表面的有机污染物进行超清洗和使样品表面改性，以获得希望的表面特性。用气体作为处理介质有效地避免了对环境和样品带来的二次污染。
真空等离子清洗设备外接一台真空泵，工作时气体等离子体轻柔冲刷样品的表面，短时间就可以使有机污染物被*地清洗掉
此设备用气体作为处理介质，它是利用能量转换技术以电能将气体转换为化学反应性和活性很高的气体等离子体，等离子体对固体样品表面进行相互作用，引起分子结构改变，从而对样品表面的有机污染物进行超清洗和使样品表面改性，以获得希望的表面特性。用气体作为处理介质有效地避免了对环境和样品带来的二次污染。
真空等离子清洗设备外接一台真空泵，工作时气体等离子体轻柔冲刷样品的表面，短时间就可以使有机污染物被*地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗能力达到分子级。等离子清洗机可对样品的表面改性，加强样品的粘附性、相容性和浸润性，也可对样品消毒和杀菌。在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的等离体，继而通过等离子体轰击加工面对象表面，产生微观上面剥离效果（调整等离子轰击时间就可以调整剥离深度，等离子的作用是纳米级的，所以不会损坏加工对象），以达到作业目的。
