真空等离子清洗机TS-PL150

产品介绍真空等离子清洗机TS-PL150

等离子清洗机，英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机，等离子表面处理机,电浆清洗机，plasma清洗机，等离子去胶机，等离子清洗设备。适合各种基片、粉体或颗粒状材料的等离子表面改性处理，包括：等离子清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。

真空等离子清洗机简介真空等离子清洗机TS-PL150

TS系列低温等离子表面处理设备-低压(真空)等离子清洗机由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.02-0.03mbar 的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态）。高频发生器提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。

真空等离子清洗机整个清洗过程大致如下：1）被清洗的工件送入真空式并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要几分钟。2）向真空室内引入等离子清洗用的气体，并保持腔内压强稳定。根据清洗材质的不同，可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3）在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体，让在真空室产生的等离子体*笼罩住被处理工件，开始清洗作业，一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。4）清洗完毕后切断电源，并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。

TS-PL150真空等离子清洗机产品特点

1.环保技术：等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。

2.广适性：不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理；

3.温度低：接近常温，特别适于高分子材料，比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。

4.功能强：仅涉及高分子材料浅表面（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的同时，赋予其一种或多种新的功能；

5.低成本：装置简单，易操作维修，可连续运行，往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。

6.全过程可控工艺：所有参数可由PLC设置和数据记录，进行质量控制。

7.处理物几何形状无限制：大或小，简单或复杂，部件或纺织品，均可处理。

真空等离子清洗机广泛应用于

等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

真空等离子清洗机大技术特点是：它不分处理对象，可处理不同的基材，无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、据四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理，因此，特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。