M系列气体质量流量计

实时完成高精度多元流量测量

同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度，可用流量量程跨度宽，内置多种气体校准，使得这款流量计成为您实验室的明星设备。

• 准确。流量测量具有NIST可溯源精度，适用于低至满量程1/200th的各种气体，还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
• 使用简单。只要您打开流量计，流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
• 连接。艾里卡特M系列气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式；订购时，可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通讯，方便与您的数字工业或实验室网络整合。

更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。

• Specs
• 定制
• 零件编号
• Applications

性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
• 可调比：200:1（M系列）或者100:1（MS系列）
• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
• 可重复性：0.2%满量程
• 标准控制器响应时间常数：5-10ms
• 无需预热时间

工作条件

• 兼容气体：98（MB系列）或130（MBS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
• 工作温度：-10°C至+60°C
• 大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
• 大差压（进口至出口）：75 psid
• 耐受压力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包装清单

• M系列气体质量流量计（电源需另行订购）
• NIST可溯源校准证书
• 艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

• 过程端口接头和过滤器
• 电源
• 通讯线缆和转换线缆
• BB3和BB9多点式集线盒
• Flow Vision软件