脉冲激光沉积 PLD 检漏氦质谱检漏仪-仪表网

公司介绍主营产品

位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业（上海）有限公司创建于1995年12月，, 是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业，公司注册资金为200万美元，到目前为止公司从业员工有400多人。
伯东企业（上海）有限公司真空产品事业部()专业销售及维修德国Pfeiffer单双级旋片泵，干泵，罗茨泵，分子泵；应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管)；检漏仪，质谱仪，真空系统等等, 维修技术力量雄厚，保证 100 % 拥有标准的德国Pfeiffer原厂测试设备及调整工具和德国Pfeiffer专业培训工程师，多年来致力于真空系统的安装、调试、维修、拆机、保养等，具有优良的专业技能和服务意识，并获得原厂*维修资质证书。利用 Pfeiffer 进口检测设备对维修后的产品做*性能测试。另外公司还代理美国Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低温泵, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源，HVA 高真空阀门。公司一直坚持品质*、信誉*的原则，为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、ISO9001－2000质量体系认证、ISO14001－1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本，不断开拓进取的精神，为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。

为将国外的高科技产品与中国经济和社会的飞速发展紧密结合，为促进国内.贸易的快速发展,伯东企业(上海)有限公司,以高科技推动现代化，以高质量服务全中国, 坚持不懈,奋斗不息。伯东公司是一家专业代理公司,代理上公司的半导体设备.接插件.电子器件.精密仪器等,公司秉承改革.创新.求真.发展的基本原则, 精心构建诚信、互动、共赢的价值体系, 为所有的客户提供优质的产品, 同时,提供全伯东集团网络支持下的较早.Z快的信息与Z及时周到的服务,伯东公司愿意与世界各地的客户联手合作,共建一个诚信.发展.共同进步的良好环境.

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产地	进口	加工定制	否

PLD 系统需要高真空环境, 腔室是否有泄露, 是否有内部材料放气等因素对实现高真空及超高真空很关键. 因此需要对整个系统进行泄漏检测. 氦质谱检漏仪利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 因此广泛应用于 PLD 设备检漏.上海伯东某客户 PLD 设备用来制备各种材料, 为了保证产品质量, 采购氦质谱检漏仪 ASM 340 搭配使用.脉冲激光沉积 PLD 检漏氦质谱检漏仪

脉冲激光沉积 PLD 检漏氦质谱检漏仪产品详情

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氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏

脉冲激光沉积系统 PLD
脉冲激光沉积系统 Pulsed laser deposition 是制备高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多层异质结构和超晶格结构的物理气相沉积设备, 通常需要保证本底真空度达到 10-8mbar, 同时高真空环境对系统配置的 RHEED 及温控系统等关键设备的寿命也至关重要.

脉冲激光沉积系统 PLD 需要检漏原因
PLD 系统需要高真空环境, 腔室是否有泄露, 是否有内部材料放气等因素对实现高真空及超高真空很关键. 因此需要对整个系统进行泄漏检测. 氦质谱检漏仪利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 因此广泛应用于 PLD 设备检漏.

脉冲激光沉积系统 PLD 检漏客户案例: 上海伯东某客户 PLD 设备用来制备各种材料, 为了保证产品质量, 采购氦质谱检漏仪 ASM 340 搭配使用.

生长多层膜（TiN/ALN）结构, 各层膜厚度可调	高通量制备具有不同材料成分的100种材料	PLD 制备的 Ag 的纳米多孔材料

脉冲激光沉积系统 PLD 检漏方法
采用真空模式检漏, 通过波纹管连接需要检漏的腔体, 设定好需要的漏率值
在怀疑有漏的地方喷氦气（一般需要检漏的部位是焊缝或连接处）,如果有漏,检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.
氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏
上海伯东* Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 三种类型可选

型号	ASM 340 WET	ASM 340 D	ASM 340 I
对氦气的小检测漏率, 真空模式	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
检测模式	真空模式和吸模式	真空模式和吸模式	真空模式和吸模式
检测气体	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
对氦气的抽气速度 l/s	2.5	2.5	2.5
进气口大压力 hPa	25	25	5
前级泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前级泵
重量 kg	56	45	32

脉冲激光沉积 PLD 检漏氦质谱检漏仪
脉冲激光沉积 PLD 检漏氦质谱检漏仪
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关键词：氦质谱检漏仪

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