作为KOFLOC全新设计的数字式质量流量控制器，DF200C采用全新传感器3000系列比例阀，已经新的PID算法，从而在控制精度、响应速度大大得到了提升，通讯方面DF200采用RJ45接口，使用普通网线既可串联99台DF200C，大大节省了布线的工作，上市以来得到各个行业客户的认可
精度1%RD
响应速度1秒以内 全量程
可修改满量程
可修改气体种类
RJ45接口 更加快捷方便
DF200C系列质量流量控制器-数字式 | |
量程(N2) | 3SCCM-10SLPM(FS) |
气体 | 非腐蚀气体；腐蚀气体单独说明 |
精度 | ±1.0%SP(＞35%FS)、 ±0.35%FS(≤35%FS) |
重复性 | ±0.25%FS |
有效范围 | 2- |
响应时间 | 1秒以内 |
耐压 | 1.0Mpa |
进口大压力 | 0.5Mpa |
工作压差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 |
温度范围 | 5~50℃ |
精度保证温度 | 15~35℃ |
保存温度 | -10~60℃ |
湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) |
材质 | 本体SUS316、SUS316L |
密封圈VITON，选配NBR或FKM | |
电气接口 | DB9 |
通讯接口 | RJ45 |
模拟信号 | 0-5V输入/输出 |
供电 | +24VDC(±10%)300mA；±15VDC(±10%)300mA |
管路连接 | 标配1/4F9 |
选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | |
重量 | 约850g |
