天津瑞利光电科技有限公司优势经销AEROTECH 振镜AGV14SPO
AEROTECH 振镜AGV14SPO
产品型号:AGV14SPO
Aerotech的AGV-SPO单枢轴检流计扫描仪提供了传统两镜振镜扫描仪的替代产品。 AGV-SPO源自流行的AGV-HPO扫描仪,可为关键的激光微加工应用提供更大的视野并减少点畸变。
大视野,光斑失真更小
*的光学设计可有效控制光束入射光瞳,使其与X和Y扫描仪运动保持一致,从而增加了扫描仪系统的有效数值孔径。这种设计直接为给定的焦距提供了更大的视野,并减少了整个工作区域上的光斑失真。这些优势意味着AGV-SPO能够更快,更一致地处理大型零件。
设计配置
AGV-SPO可提供多种光学涂层和聚焦光学器件,以支持各种常用的激光波长和焦距。为了满足其他需求,Aerotech可以根据要求为AGV-SPO提供定制的光学元件和光学安装功能。AGV-SPO可以配置有风冷镜,水冷电机或两者。这些主动冷却功能有助于在存在由激光引起的热干扰以及剧烈运动的情况下,保持工作平面的准确性。
高级编程功能
参数:
光束孔径:14 mm
扫描角度:max.±20°
光束位移:35 mm
抖动(增量运动min.):0.3 µradRMS
精度:50 µrad pk-pk
重复性:0.6 µradRMS
增益误差:0.05 mrad
非线性:0.005%
跟踪误差:0 µsec
峰值加速度:60,000 m/s2
连续加速:20,000 m/s2
定位速度:50 m/s
处理速度:5 m/s5
跳跃和稳定时间,移动1 mm:700 µsec
稳定性
长期漂移
偏移:10 µrad/12 hrs
15 µrad/24 hrs
增益:10 ppm/24 hrs
热漂移
偏移:20 µrad/°C
增益:1 ppm/°C
材料:铝(黑色阳极氧化和蓝色喷漆)
MTBF(平均*时间):20,000
重量:5.1 kg
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