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MEGATORR阀门压力控制器AP-420
宽带阀040（NW40）,050（NW50）,063（NW63）,075（NW80）
在以往的真空压力控制中，随着过程的多样化，压力控制范围也呈现出多样化的趋势，特别是在低真空（高压）下压力控制的需求增加。阀门加热温度也一样，随着过程气体的多样化，变得更需要温度。为了满足您的要求而开发的是这个宽带阀门。
宽压力控制范围：101.33kPa（大气压）～1
MEGATORR阀门压力控制器AP-420
MEGATORR阀门压力控制器AP-420
压力控制器AP-420
AP系列是电容计量器（压力真空计）和槽阀组合使用的压力控制器。可以从自适应/PID/混合动力3种类型中选择控制方式，确保半导体/FPD/太阳能电池等制造装置所要求的高速应答、高再现性的真空压力控制。也可以通过前面板进行设定，操作性非常容易。另外，由于CE标志、RoHS对应产品，被世界上所有产业的量产设备所使用
压力控制器AP-100R
Model AP-100R将制造装置中的真空室进行真空排气时，通过改变阀门电导，作为控制真空排气速度的下游压力控制装置使用。
GOOT太洋电机产业，HACHIKO八光电机制作所，YOKOGAWA横河电机，WATANABE渡边电机工业，TOGAMI户上电机制作所，KASUGA春日电机株式会社，OTOWADENKI音羽电机工业株式会社，AICHIDNK新爱知电机制作所，OKAYAELEC岡谷电机产业株式会社，TOSHIBA东芝产业机器システム株式会社，
NIKKO日幸电机制作所，FUKUDADENKI福田电机制作所，KYOEIDENKI協荣电机，NIHONDENKISANGYO日本电机产业，SATORI佐鸟电机，SHINOHARA篠原电机，TSURUTA鶴田电机，NUNOME布目电机，FUJIELECTRIC富士电机机器制御，FUJIDK不二电机工业，**电机，MIZUDEN水谷电机工业，WATANABE渡边电机工业，OJIDEN大阪自动电机株式会社，YAMAMOTO山本电机株式会社，KAMIUCHI（株）神内电机制作所，SANEIKOSYO三栄工业（株），MITSUBOSHI三ツ星ベルト,EXTION中国台湾大内,TERAUCHI株式会社寺内製作所
NPASYSTEMエヌピーエーシステム株式会社,BELLPONYベルポニー株式会社,MURAIKIKIムライ机器株式会社,URAS TECHNOユーラステクノ株式会社,KIKOH技研株式会社,MAXPULLマックスプル工业株式会社,KYUSHU HASEC九州ハセック,NIPPON GEAR日本ギア工業,NSSK日本スタンドサービス,东京变速机,KAMUI神威产业,KOGI虹技株式会社，NAKASEIKI仲精机株式会社,SICマーキング社刻印机
