单晶硅压阻式压力传感器工作原理
压阻式压力传感器利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。
当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化,再由桥式电路获得相应的电压输出信号。
● 精度高
● 量程、零点外部连续可调
● 稳定性能好
● 正迁移可达500%、负迁移可达600%
● 二线制
● 阻尼可调、耐过压
● 固体传感器设计
● 无机械可动部件、维修量少
● 重量轻(2.4kg)
● 全系列统一结构、互换性强
● 小型化(166mm总高)
● 接触介质的膜片材料可选
● 单边抗过压强
● 低压浇铸铝合金壳体