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SOPTOP半导体12寸晶圆检查显微镜MX-12R
灵活的系统组合、**的成像性能、稳定的系统结构，**应用于工业检测及金相分析领域
各操作机构根据人机工程学设计，*大限度减轻使用疲劳。模块化的部件设计，可对系统功能进行自由组合。
灵活的系统组合、**的成像性能、稳定的系统结构，**应用于工业检测及金相分析领域
SOPTOP半导体12寸晶圆检查显微镜MX-12R
各操作机构根据人机工程学设计，*大限度减轻使用疲劳。模块化的部件设计，可对系统功能进行自由组合。SOPTOP半导体12寸晶圆检查显微镜MX-12R
全新设计的长工作距**金相物镜，高倍物镜采用半复消技术。
各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像。
附件齐全，配置完善，可灵活进行系统组合与功能拓展。
人机工程学设计、坚实可靠的系统结构。
**的光学设计，支持多种观察技术，充分满足各类超大平台设计，半导体/FPD检测需
全自动化方案，让工业检测更轻松、更便捷、更高效
12寸超大平台设计，为半导体/FPD行业提供*舒适的操作体验
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
观察筒 | 铰链式正像三通观察筒，0~35°仰角可调；瞳距调节：50mm~76mm；分光比双目，三目=0:100或100:0 |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm，视度可调 高眼点大视野平场目镜PL10X/26.5mm，视度可调 |
物镜 | 明暗场半复消金相物镜【5X、10X、20X、50X、100X】 |
转换器 | 明暗场内倾式6孔转换器，带DIC插槽 |
载物台 | 14X12英寸离合式机，移动行程：356mmX305mm机械平台，X、Y方向同轴调节；带反射用金属载物台 |
镜体 | 反射机架，低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm，微调精度0.001mm。带有防止下滑调节松紧装置和随机上限位装置。 内置100-240V宽电压系统，带电动转换器和电动孔径光阑切换按钮。 |
照明系统 | 明暗场反射照明器，带电动孔径光阑，中心可调；带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏光附件插槽。 12V/100W卤素灯室，预定中心；PHILIPS 7724卤素灯 |
摄像摄像附件 | 0.5X/0.65X/1XCTV，C接口，可调焦 |
偏光附件 | 起偏镜插板，检偏镜插板 |
可选偏光附件 | 蓝色、绿色、红色、LBD干涉滤色片 |
