【概述】
FemtoLAB是需要针对各种任务定制解决方案的科学实验室和研发中心的理想选择。
它是在光学平台上的整个激光实验室，配备了工业级飞秒激光器，高精度线性定位平台，高性能振镜扫描仪以及多功能微加工软件SCA。
我们的*专业知识可以优化FemtoLAB工作站，以节省实验时间并促进新用户的培训。对于拥有更多研究人员的实验室而言，这一点变得非常重要。
FemtoLAB的灵活性使我们能够在出现新要求时扩展和升级系统。
【原理配置】
激光源
样品定位系统
光束传输和扫描单元
激光功率和偏振控制
系统控制软件（根据要求提供自动聚焦和机器视觉）
样品架和特殊机械（根据要求提供样品处理自动化）
光学台
外壳（全部或部分）
除尘装置
激光系统通过微加工软件SCA自动化，该软件是激光系统的重要组成部分，不单独出售
【主要特点】
具有亚微米分辨率的复杂物体的制造
高速和超高精度微加工
高效的光束传输和功率控制
工业级飞秒激光器
高性能振镜扫描仪
物体在时间和空间上的移动和激光脉冲同步
*的软件界面可控制所有硬件单元
【产品参数】
技术规范取决于个人要求和需要执行的任务。它可能在下面列出的范围内变化。
| 参数 | 值 |
| 脉冲持续时间 | 200 fs – 10 ps |
| 重复率 | 1 kHz – 1 MHz |
| 平均功率 | 高达20W |
| 脉冲能量 | 高达2 mJ |
| 波长 | 1030 nm，515 nm，343 nm，258 nm，206 nm |
| 定位精度 | ±250纳米 |
| 行程范围 | 从25×25毫米到300×300毫米（根据要求更大） |
图1 femtoLAB SZU主方案。终的光学结构可能不同。
* 主要部件产品规格参数
飞秒激光光源Pharos
中心波长 | 1028 nm ± 5 nm | |
大平均功率 | 10 W（@1028） | |
重频 | 1 kHz – 1 MHz | |
光斑直径 | 3±1nm | |
脉宽范围 | 290 fs – 10 ps (20 ps 根据要求) | |
大脉冲能量 | > 0.2 mJ 或 > 0.4 mJ | |
光束质量 | TEM00; M2 < 1.2 | |
脉冲选择 | 包含 | |
工业谐波发生器(IHG)
二倍频 | 514 nm | |
转换效率 | >50%@514nm | |
光束质量 | M2 < 1.3@@514nm | |
波长可调 | 自动 | |
IHG模块直接安装在激光器的输出端并集成到系统中 | ||
外部电源控制2台
自动 | 是 | |
能量控制 | 0- | |
波长 | 1028nm,514nm | |
能量校准 | 自动 | |
时间色散 | t<4fs for 100fs | |
XYZ1Z2四轴定位系统
总行程 XYZ1Z2 | 200 x 100 x 5 + 50 mm | |
XY轴 | 空气轴承 | |
XY轴精度 | ±400nm | |
Z1轴精度（5mm行程） | ±1.5um | |
Z2轴精度（50mm行程） | ±2.5um | |
控制XYZ1位移 | <50nm | |
XY大速度 | 500mm/s | |
XY重复精度 | ±100nm | |
Z1大速度 | 4mm/s | |
XY大加速度 | 0.5G | |
空间光调制器(SLM)
矩阵尺寸 | SXGA（1280x 1024 pixels)） |
操作波长 | 510 ± 50 nm |
输入电平数 | 256 (8 bits) levels |
有效面积 | 16 mm x 12.8 mm |
大空间分辨率 | 25 lp/mm |
光利用率 | 98% |
SCA操作软件
激光点火 | |
激光能量 | |
脉冲重频 | |
功率衰减 | |
自动和手动控制位移台 | |
通过软件读出光束功率 | |
文件输出格式DXF，STL，PLT，BMP，TXT |
