上海伯东美国 HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列是专为真空环境而设计. 真空闸阀 71000 系列由坚固的不绣钢刚坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 条件下加工成形, 真空闸阀两侧密封的门上双密封设计, 阀门内部几乎没有移动部件, 大限度减少粒子的生成. 免维护设计(不绣钢波纹管与工艺过程分离). 适用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的严酷的应用.
上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区总代理商。
HVA 真空闸阀 真空插板阀 71000 系列 产品优势：
1.易于系统集成, 几乎满足所有应用
2.不绣钢波纹管与工艺过程分离 - 免维护
3.真空闸阀坚固的双重密封设计和低粒子
4.使用寿命 > 250,000 cycles 启闭次数
5.高压和机械加工的不锈钢阀体
6.真空闸阀口径 DN 50-200 mm
7.手动或气动控制
8.标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
9真空闸阀大烘烤温度 250°C
10.全部美国设计, 制造, 组装, *
HVA 真空闸阀 真空插板阀 71000 系列 技术参数：
阀门材质: | |
- 阀门主体 | 304 不锈钢 |
- 焊接波纹管轴封 | AM - 350 |
阀门密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡胶 |
真空: | |
- 压力范围 | 高真空 1x10-9 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差压关闭 | 2 bar (任意位置) |
- 开启前大压力 | ≤ 1 bar |
烘烤温度（不含电磁阀）: | |
- 佛橡胶密封 | 150 °c, 可选配置大 250 °c |
- 驱动方式 | 手动 60 °c, 气动 60 °c |
- 气体 | 80 psig (5.5 bar) |
- 电磁 | 4.0 Watts |
- 供电 | 120 VAC 50 /60 Hz |
- 可选电压 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
- 位置指示器,大 | 115 VAC |
使用寿命: > 250,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) | |
公称通径: DN 50 - 200 mm | |
