FT-351高温四探针电阻率测试系统详情介绍
FT-351 high temperaturefour probe resistivity test system
功能概述：overview
1. 四探针双电组合测量方法测试方阻和电阻率系统与高温箱结合
2. 配置高温四探针测试探针治具
3. PC软件对数据的处理和测量控制.
4. 量程测试范围.
应用说明：
半导体材料的电导率对温度变化测量要求，测控软件实时绘制出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线图谱，及过程数据值的报表分析.
适用行业：Applicableindustry:
用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.
双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计符合单晶硅物理测试方法
标准并参考美国 A.S.T.M 标准。
型号及参数Modelsand technical parameters：
规格型号Models | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
1.方块电阻范围sheet resistance | 10-5～2×105Ω/□ | 10-6～2×105Ω/□ | 10-4～1×107Ω/□ |
2.电阻率范围resistivity range | 10-6～2×106Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm | 10-5～2×108Ω-cm |
3.测试电流范围test current range | 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA | 10mA ---200pA |
4.电流精度current accuracy | ±0.1%读数 | ±0.1读数 | ±2% |
5.电阻精度resistance accuracy | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤10% |
PC软件界面 PC software interface | 显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness | ||
7.测试方式test mode | 双电测量Double electrical measurement | ||
8.四探针仪工作电源working power | AC 220V±10%.50Hz <30W
| ||
9.误差errors | ≤3%（标准样片结果 standard samples） | ≤15% | |
温度(选购)Highest temperature (choose and buy) | 常温 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ | ||
气氛保护（气体客户自备） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) | 常用气体如下：氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均为无色、无臭、气态的单原子分子 The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. | ||
温度精度 Temperature precision | 冲温值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控温精度 control precision：±1°C | ||
升温速度： rate of temperature increase | 常温开始400℃--800℃需要15分钟；800℃-1200℃需要30分钟；1400℃-1600℃需要250分钟—300分钟 About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to 1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes | ||
高温材料 High temperature material | 采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder | ||
PC软件 PC software | 测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！One set Special test PC software. USB communication interface. software interface synchronization display. analysis. save and print data! | ||
电极材料 Electrode materials | 钨电极或钼电极 Tungsten electrode or molybdenum electrode | ||
探针间距 The probe spacing | 直线型探针，探针中心间距：4mm；样品要求大于13mm直径Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter | ||
标配外（选购）： Except standard configuration (optional) | 电脑和打印机1套；2.标准电阻1-5个； 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs | ||
高温电源： High temperature power | 供电：400-1200℃ 电源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃电源380V；功率9KW： Power supply: 400-1200 ℃ power 220 v. 4 kw power;380 v;1400 ℃ to 1600 ℃ power supply380V ; power 9KW | ||
整机工作原理
方块电阻测试时电流量程选择表
方块电阻（Ω/□） | 电流量程 |
0---1.2 | 100mA |
1---25 | 10 mA |
20---250 | 1 mA |
200---2500 | 100μA |
2000---25000 | 10μA |
20000---250000 | 1μA |
>200000 | 0.1μA |
方阻测试时根据用户所选择的电压测量低压6V，中压15V，高压32V；材料测试的时候一直是6V
四探针测试方法
1.四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：
直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：
当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：
操作流程及步骤
1.系统连接：将各个部件及控制系统、电源及USB通讯接口接通；
2.调通系统的连接是否正常，可以从PC软件及电阻率测试仪上的数据变化看出.
3.在高温箱体上分段设定所需要温度，当然也可以不分段而设定一个温度.具体高温箱体仪表操作请查看《温度仪表操作手册》.
4.待样品通过高温夹具进入高温箱体.
5.开启惰性气体输入阀门.
6.温度实时上升过程中，样品阻值实时曲线变化.
7.带温度达到设定值时，自动停止加热.
8.测试完毕，关闭高温电源，带10-20分钟后.
9.通过高温手套，移动夹具上升离开高温箱体.
10.用镊子取出样品.
PC软件界面图：
部分客户案例：
河南大学
郑州航空航天学院
南京航空航天大学
内蒙古科技大学
西南科技大学
宜宾学院
北京理工大学
优点介绍
1. 精度四探针测试仪匹配
2. 集成系统
3. 温度达到1600度.
4. PC软件实时数据处理及分析.
5. 具有保护气体功能.
服务项目
1.质保：12个月，*维护.
2.培训：操作培训：
教学；U盘教学文件；远程可视沟通；现场教学；说明书教学文件
3.保养和维护：
提供因知保养和维护文件、标识、表格 、保养提醒.
4.验证文件：
3Q验证文件、计量证书
5.扩展服务：
延保服务，样品测试服务，后延服务，仪器租赁服务.
