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干式氦气检漏仪 UL1000 Fab
ULTRATEST? 传感器技术
稳定性和灵敏度的新疆界，
检漏低达 10 -12 atm/css
The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。
通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的真空结构，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。软件 I-CAL（智能泄漏率计算法）让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。
使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管（根据 MIL-STD 883，方法 1014）。
功能
- 15 级的宽测量范围
- 较短的抽气和响应时间
- 移动式全金属外壳，增加了便利性，具有可操作性
- I-CAL 确保了在所有测量范围中提供的泄漏响应时间
- 抑零功能和自动积分时间校正，可提供快速、可靠的测试结果
- 含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计，提供较高氦气抽气能力和高压缩比
- 旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
- 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
- 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
- 通过电子邮件进行软件更新
- 含两个灯丝离子源（3 年质保）的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
- 内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果
典型应用
- 对半导体加工工具执行维护作业，无论是否具有自有泵支持
- 需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
- 在现有工具中安装前对部件执行检漏
- 工艺气体系统的检查和安装
- 内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试
零件号
| Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 550-100A | ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug |
| 550-101A | ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug |
规格
| 类型 | Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab | |
|---|---|---|
| 氦气（真空模式）低可检漏率 | mbar?L/s | <5E-12 |
| 氦气（真空模式）低可检漏率 | mbar?L/s | <5E-12 |
| 氦气（吸式）低可检漏率 | mbar?L/s | 8E-8 |
| GROSS 模式大进气口压力 | mbar | 15 |
| FINE 模式大进气口压力 | mbar | 2 |
| ULTRA 模式大进气口压力 | mbar | 0.4 |
| 抽真空期间的抽气能力 | m3/h | 25 at 50 Hz |
| GROSS 模式氦气抽气能力 | L/s | max. 8 |
| FINE 模式氦气抽气能力 | L/s | 7 |
| ULTRA 模式氦气抽气能力 | L/s | 2.5 |
| 可检测质量数 | 2,3,4 amu | |
| 质谱仪扇形场 | 180° | |
| 灯丝离子源铱/氧化钇涂层 | 2 | |
| 内置校准漏孔 | mbar?L/s | e-7 |
| 测试端口 | DN 25 KF | 1 |
| 可调触发器 | 2 | |
| 接口 | RS 232 | |
| 图形记录器输出 | V | 2 x10 |
| 输入/输出 | PLC compatible | |
| 允许的环境温度（操作过程中） | °C | +10.....+40 |
| 保护类型 | IP 20 | |
| 重量 | kglb. | 110 |
| 尺寸（长x宽x高） | mmin. | 1068x525x850 |
| 电源电压 | V (ac) | 230 (+-10% )50Hz |
| 电源电压 | V (ac) | 230 (+-10% )50Hz |
| 电源电压 | V (ac) | 230 (+-10% )50Hz |
| 功耗 | VA | 1100 |
