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ONYX矩形磁控溅射阴极

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  • 品牌
  • 所在地
  • 更新时间2020-09-14
  • 厂商性质生产厂家
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ONYX矩形磁控溅射阴极 产品详情

美国AngstromSciences ONYX系列矩形磁控溅射阴极的设计,以满足严格的薄膜均匀,靶材利用率,和溅射速率规格。除了由的异型磁铁和水冷技术所提供的*的性能测试结果,Angstrom Sciences磁控溅射阴极还提供许多其他优异性能。


随着工业应用对速度,可控性和产能越来越高的要求,Angstrom Sciences正在开发合适的阴极来适应这些要求更大、更快的制造工艺。
1、更广泛的解决方案
对于那些需要在大面积基板上沉积或必须实现*的吞吐量的应用,矩形磁控阴极提供了完美的解决方案。
2、优势
Angstrom Sciences的矩形磁控阴极采用*封装的异形钕铁硼稀土磁体和水冷技术,提供的性能。
3、标准配件
我们使用ISO NW标准配件,以及Conflat 金属密封法兰。所有的维护操作都在大气中进行,使用标准的O型圈密封,易于安装在任何标准的真空系统中。
4、电源兼容性
低阻抗头提供了射频、直流 、中频直流、直流脉冲以及微波电源的兼容性。
5、经过验证的性能
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在极低的压力下以*的功率工作,为您提供在任何应用中的均匀性、利用率和速率的完美平衡。
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Angstrom Sciences的矩形阴极宽度可从1.5英寸到16英寸,长度可达12英尺。 当然,我们*具备设计并构建定制任何满足您的生产需求的磁控阴极。
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关键词:标准
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