天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国ATL Lasertechnik准分子激光器-ATLEX-500-I
产品型号：ATLEX-500-I
关键字：ATL Lasertechnik准分子激光器ATLEX-500-I
天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国ATL Lasertechnik准分子激光器-ATLEX-500-I
产品型号：ATLEX-500-I
关键字：ATL Lasertechnik准分子激光器ATLEX-500-I
德国ATL Lasertechnik准分子激光器-ATLEX-500-I
关键字描述：ATLEX-S系列激光是一种非常紧凑的紫外光源，专为中低占空比应用而设计。
产品介绍：
软电晕预电离
高压固态脉冲发生器
激光头体积<3l
TMC（全金属陶瓷）容器
集成真空泵和卤素过滤器
风冷/可选液冷，主动热管理
RS-485，RS232，USB和光纤接口，用于系统集成
可冲洗光学支架
能量稳定模式
新一代紧凑型风冷，高重复频率的准分子激光器，专为中低占空比应用而设计。
参数：
气体介质 F2 ArF KrF XeCl XeF
波长 nm 157 193 248 308 351
高压开关技术 固态开关
重复率max. Hz 1 10 15 8 7
脉冲能量max. mJ 0.5 4.0 6.5 3.0 2.5
平均功率max. W 500
脉冲持续时间 ns 5-8
光束尺寸（V x H） mm 4 x 6
光束发散角（V x H）mrad 1 x 2
能量稳定性（标准偏差）% < 3
尺寸（长x宽x高）mm 540 x 470 x 370
重量 kg 60
冷却 冷却空气/可选液体
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