Brooks质量流量计仪表应用:
1.光端机。
2.LED/MOCVD。
3.半导体。
4.太阳能。
Brooks质量流量计仪表特点:
1.长期零点稳定性,每年变动小于满量程的 0.2%。
2.能够根据命令变化在 3 秒内完成设置并且过冲/下冲可忽略不计。
3.流量范围宽 - 3 sccm 至高达 30,000 slpm。
4.高压额定值 - 高达 1,500 psi。
5.可选增强型内部后处理工艺 - 5? 英寸 Ra(平均值)。
6.可拆卸式流量传感器。
7.不受安装角度影响。
8.其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容。
9.TTL 兼容型"阀关闭"和吹扫功能。
Brooks质量流量计仪表优势:
1.全金属流路可确保气体纯度并降低泄漏风险。
2.在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性。
3.由于性能可靠,因此投资回报率出众。
4.采用可拆卸式流量传感器,因此无需对气压进行连续监测和重新调节。
5.由于模拟量仅为输入/输出,因此易于安装和保养。