应用
- 半导体工业
- UHP液体化学品输配系统
功能特性
- 获得的双膜片设计
- *干燥:非金属陶瓷传感器,无充液
- 接液部件材质为氟烷氧基 (PFA)
- 传感器即使在安装后也可以270°旋转
- 防护等级高达IP 65或IP 67
- 可选:HYDRA-Indicator型面板安装式或集成式显示器
描述
HYDRA-line系列产品
HYDRA-line系列压力测量仪表是我们和半导体企业(威卡客户)联合开发而成。所有该系列产品都满足过程设备和UHP化学品输配系统的特殊应用要求。
HYDRA-Dry压力传感器具有高精度、高可靠性、超洁净的接液部件和表面。产品没有使用充液,不会造成污染。
此外,所有接液部件的生产、清洁组件的装配、校验和包装均是在100级无尘室中完成的。
双重安全
获得的HYDRA双膜片系统可以安全可靠地将压力传感器与工作介质隔离开。此外,该型号产品还会将HF或HCI蒸汽等扩散介质排到外部环境中,从而可防止造成错误的测量结果或破坏传感器元件。