美国艾里卡特质量流量计-数字式的性能参数：
| 性能/参数 | 数字式质量流量计 |
| 流量范围 | 0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量单位如kg/h、g/min等 |
| 标定气体 | 内置90条气体可选择 |
| 精度(调零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) |
| 高精度(调零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM |
| 重复性 | ±0.2%FS |
| 漂移(零点/满量程) | 0.02% F.S/ºC/Atm |
| 工作范围 | 0.5- |
| 响应时间 | 10毫秒(可调整) |
| 启动预热时间 | 1秒内 |
| 标准工况 | 25ºC & 14.696 psia，可自定义修改 |
| 工作温度范围 | -10~-50℃(另有高温订制品) |
| 工作湿度范围 | 0-RH(非冷凝) |
| 大工作压力 | 10Bar |
| 大工作压差 | 5bar |
| 安装方向 | 任意 |
| 材质 | SUS302303304不锈钢、密封圈VITON |
| 显示屏 | 背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度 |
| 数字信号 | 标准RS232 选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
| 模拟信号 | 标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
| 第二路模拟信号 | 标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
| 电气接口 | 标准圆形8芯 选配:圆形6芯、DB9、DB15 |
| 供电电压 | +24VDC |
| 消耗电流 | 100mA以内 |
Alicat质量流量计采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量计均具有NIST可溯源校准证书。
美国艾里卡特质量流量计-数字式的使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口大压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
