世伟洛克是半导体芯片制造应用的技术和解决方案提供商，同时也是 ALD 阀门技术的鼻祖。我们的 ALD 超高纯 (UHP) 阀具有以下特点：
- 高速启动下的超高循环寿命
- Cv 范围从 0.27 至 1.7
- 使用热动元件时，全浸没温度高达 392°F (200°C)
- 适合于采用标准 316L VIM-VAR 不锈钢阀体的 UHP 应用
- 模块化表面安装、卡套管对焊和 VCR® 端接
- 电子或光学执行机构位置传感选购件
ALD3 和 ALD6 UHP 隔膜阀
ALD 隔膜阀具有超长的使用寿命、高速的启动和高达 0.62 的流量系数，与热执行机构、位置传感器和电磁阀配合使用，可在原子层沉积应用场合实现性能。
规格
| 工作压力 | 真空至 145 psig (10.0 bar) |
| 爆裂压力 | 3200 psig (220 bar) |
| 执行压力 | 50 至 90 psig（3.5 至 6.2 bar） |
| 温度 | 32° 至 392°F（0° 至 200°C） |
| 流量系数(Cv) | 0.27 或 0.62 |
| 阀体材料 | 316L VIM-VAR 不锈钢 |
| 隔膜材料 | 钴基高温合金 |
| 端接 | |
| 类型（尺寸） | 内螺纹 VCR® 面密封接头（1/4 in. 至 1/2 in.） 外螺纹 VCR 面密封接头（1/4 in. 至 1/2 in.） 模块化表面安装高流量 C 型密封（1.125 in. 至 1.5 in.） |
适用于高流量应用的 ALD20 UHP 阀门
ALD20 产品目录
ALD20 UHP 阀门是世伟洛克 ALD 产品系列的成员。正在申请的设计允许利用具有挑战性的低蒸汽压前体。ALD20 采用超高纯波纹管，因此与其他 ALD 阀相比，可促进清洁操作并具有更高的流量。
此外，ALD20 阀可以*热浸在气箱中，并可以从 50°F (10°C) 加热到 392°F (200°C)。
规格
| 工作压力 | 真空至 20 psig (1.4 bar) |
| 爆裂压力 | >3200 psig (220 bar) |
| 执行压力 | 70 至 90 psig（4.8 至 6.2 bar） |
| 温度 | 50° 至 392°F（10° 至 200°C） |
| 流量系数 (Cv) | 1.2 (MSM) 或 1.7（直通型） |
| 阀体材料 | 316L VIM-VAR 或合金 22 |
| 波纹管材料 | 合金 22（5 μin.Ra 表面粗糙度） |
| 端接 | |
| 类型（尺寸） | 内螺纹 VCR® 接头 (1/2 in.) 可旋转外螺纹 VCR 接头 (1/2 in.) 卡套管对焊，长 0.50 in. (1/2 in. x 0.049 in.) 模块化表面安装高流量 C 型密封 (1.5 in.) |
