离子去胶机

离子去胶机 型号：PR-3

离子去胶机 

通过等离子体方法，对陶瓷片、硅片等衬底材料图形上的光刻胶进行干法去除。设备为单室真空系统，主要由真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、控制系统、冷却系统、报警系统等部分组成。 
射频电源采用RF500W电源控制。 
气路系统采用两台浮子流量计控制气体进气。
  腔室结构：卧式、纯石英
  真空室规格：F210´300mm
  限真空：1Pa（环境湿度≤55%）
  真空系统:机械泵
  大装片直径: F4英寸
   大装片容量：4英寸 25片/炉
  去胶速率: ～500A/min
  去胶不均匀性：≤±5％ (φ4吋范围内)
  操作方式:手动方式
用户可选配全自动控制方式

通过等离子体方法，对陶瓷片、硅片等衬底材料图形上的光刻胶进行干法去除。设备为单室真空系统，主要由真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、控制系统、冷却系统、报警系统等部分组成。 
射频电源采用RF500W电源控制。 
气路系统采用两台浮子流量计控制气体进气。
  腔室结构：卧式、纯石英
  真空室规格：F210´300mm
  限真空：1Pa（环境湿度≤55%）
  真空系统:机械泵
  大装片直径: F4英寸
   大装片容量：4英寸 25片/炉
  去胶速率: ～500A/min
  去胶不均匀性：≤±5％ (φ4吋范围内)
  操作方式:手动方式
用户可选配全自动控制方式

产品名称：电子皂膜流量计 产品型号：BL100

电子皂膜流量计 型号：BL100

应用领域：适用于任何气体或液体流量的检测，广泛应用于各类实验室气体流量的校准，包括大气采样器的流量校准、粉尘采样器的流量校准，玻璃转子流量计的校准，以及各类色谱仪的流量测定。
 
产品描述：
BL系列电子皂膜流量计通过其内部的电路控制单元与敏感元件相结合来测量气体流量，其精度大大优于用眼与手掐秒表测定气体流量的做法，是取代手持式皂膜管加秒表的Z佳选择。该系列电子皂膜流量计液晶显示，具有温度、压力、容积的校正功能，用户通过现场自我校正，可得出被测气体的体积流量，可单次测定气体流量，也可以对流量测定十次后取平均值。
技术参数：
Ø 测量范围：0.1mL～100mL/min 
Ø 测量精度：△Q﹤±1％。
Ø 测量方式：湿式 
Ø 时间范围：0.1～1200.0s(内部计算精确到0.01秒)。
Ø 内装标称值为8.4V、1200mA/h的充电电池，充满电后待机时间﹥300小时。
充电次数﹥500次。
Ø 使用环境：0～45℃；0～70%RH（无结露）
Ø 重量：约950 g