高压力质量流量控制器:
LF-NH010气体质量流量计主要是通过传感器,感应气体的流量大小,并输出到数据采集器。热式气体质量流量控制器和质量流量计的*就是检测出来的实际数据,不会受到温度和压力的影响,实测数据用户也无需在进行温度和压力补偿的换算。
高压力质量流量控制器:
LF-NH010气体质量流量控制器由质量流量传感器、热式原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成,它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成,其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
LF-NH010耐高压气体质量流量控制器准确可靠的测量和控制气体质量流量,测量和控制精度高、零飘小,测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响,广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.气体质量流量计主要是通过传感器,感应气体的流量大小,并输出到数据采集器。热式气体质量流量控制器和质量流量计的*就是检测出来的实际数据,不会受到温度和压力的影响,实测数据用户也无需在进行温度和压力补偿的换算。