产品名称:
中科院微电子所KW-4A匀胶机
一、KW-4A匀胶机产品介绍:
1、中科院微电子所KW型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。
2、该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。
3、通常配无油真空泵一起使用。经过20多年的发展,目前产品占国内市场的70%以上。
4、目前的型号有KW-4A型和KW-5型。
二、KW-4A匀胶机规格参数:
1、调速范围和匀胶时间
Ⅰ档 调速范围:500-2000转/分 Ⅰ档 匀胶时间:2-18秒
Ⅱ档 调速范围:1300-8000转/分 Ⅱ档 匀胶时间:3-60秒
2、适用:Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶(硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等各种材料)。
3、LED数字显示,转速稳定度:±1%,胶的均匀性:±3%。
4、电机功率:40W
5、真空泵抽气速率≥60升/分
6、体积小,重量轻,操作简便
7、仪器尺寸:210×220×160mm
8、标配 3 个基片托盘:直径 8mm,1 英寸,2 英寸,(4英寸可选配。)
9、可选配件无油泵
无油真空泵基本参数:
1) 型号: AP-550v;
2) 抽速:1.5 升/秒;
3) 功率:320W;
4) 噪音:58db;
5) 电压、频率:~ 220V/50Hz;
6) *真空度:﹣700mmHg;
7) 重量:5.8kg;
8) 外形尺寸:240×130×200mm。
三、KW-4A 匀胶机产品主要特点
1) 开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。
2) 转速在 500~8000 转/分范围内非常稳定。
3) 采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到 高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在 1~18 秒 和 3 秒~1 分钟。
4) 具有定时功能。
5) 测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。
6) "吸片"采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合 流水线的工艺,提高了效率。
7) 在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。
四、KW-4A型匀胶机使用说明
1) 将塑料管接到匀胶机后面板的抽气嘴上。
2) 电源线插座插入无油泵底座“~220V”插孔里。
3) 电源线插头插入电源线接板的~220V。
4) 此泵有两个气嘴,一个气嘴已接好塑料管,另一端接到匀胶机后面板即
可,另一只气嘴为出气嘴,不要堵住。
5) 电源开关“O”为关闭,“-”为开启。
6) 将开关置于“-”位置,真空泵即可运转。
7) 和匀胶机连用时,当需要吸片时,先开泵电源,真空泵应处于工作状态,
只需要再按匀胶机面板上的吸气键,即可控制通电。
8) 不工作时将泵上的开关断开。
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