1. 产品简介
显影机（WH-XY-01）是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品， 针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的，可以对 7 英寸以下规格的硅片进行程控式自动化显影。该设备可*替代微流控芯片制作过程中的手动显影环节，克服了手动显影过程中的显影液加入量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片间隔显影效果不可控，上减少操作人员人为因素导致的显影质量问题以及硅片的损坏。
显影机（WH-XY-01）详细说明书下载
显影机主要特点如下：
1）显影池摇晃震荡频率可设定,保证显影液与硅片等接触充分，提高显影效果与质量；
2）可根据显影的载体进行精确设定显影托盘升降位置，从而确定显影液的进入添加量，避免显影液的浪费；
3）显影液可以自动添加与排放，灵活更换；
4）友好的人机界面设计，保证操作人员的使用体验与安全；
5）便携性好，方便在实验室移动；
6）腔体为SUS304材料的耐腐蚀腔体。
2. 技术参数
震荡方向：顺时针/逆时针 ；
转速：10～300RPM ；
液量控制：50～500mL ；
适配硅片/芯片：≤7 寸 ；
显影时间：0～999s ；
进液速度：0～* ；
电源输入：AC220V±10V/50HZ ；
功率：150W ；
重量：14 kg ；
外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm ；
工作环境：温度 0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %。
3. 特征图解
备注：如需了解产品价格及其他技术内容可咨询我司客服。
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