泄漏测试流量计
质量流量计传感器采用微机械加工技术，实现微小流量测量，其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿，广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
工作原理：
感热式芯片技术是采用大规模集成电阻的工作，在芯片上，一个微热源及分别处于微热源上下游的温度传感器集成在采用MEMS的*工艺制作的镂空桥面上，采用这这样的桥式方式制作有利于热传导，使动态响应时间大大提高，当传感器工作时，微热源与环境温度之间保持一定的温差（通常是70℃），在芯片周围形成固定的温度场分布，如果气体是单向流动，则在气道中温度场可用下述公式来计算:
式中：气体流动方向为ｘ，速度为ｖ，ａ为扩散率。如上图（式）所示，当气体流过芯片时，将会带走热量，通过质量流量qm和电压V的对应关系来计算流体的质量流量。
产品特点：
·产品集成度高，集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体，并可实现自动调节、控制阀门
·微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术，使流量计的微流量测量灵敏度显著提升
·微小流量气体测量，ml/min级的微流量测控，实现微小流量测量的数字化
·单个芯片的流量特性的微处理技术，使流量计的量程范围大大提高
·机电一体化优化设计，智能化的数据处理技术，使流量计具有更好的重复性，实现了计量的准确、可靠
·结构的优化，流量计的压力损失达到*小化
·新的传感技术，使流量计工作更稳定、可靠
· 零点自校功能，测量更准确
·多种气体实际标定，全量程补偿
·快速响应、数据自动存储，配合上位机可实现网络集中管理
·规格齐全，量程范围宽，可根据用户要求单独标定
·精度等级高，满足用户高精度测量要求
·的流量计报警功能，使监控更可靠
·操作、设置界面友好、简便，可根据需要自行设定相关参数
·运用行业多，是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的优选
技术参数：
·测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）
·测量管径：DN3，6，8，10，12
·流量范围：30，60，80，100，300，600，800，1000sccm；10，20，30，50，80，100,500SLPM
·流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS
·工作温度范围：-25℃-55℃
·工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
·供电电源：24VDC±10%；
·输出信号：4-20mA，RS485通讯；
·环境温度：-25℃-55℃
·显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。
目前比较常见的泄漏测试方法：
直压法，差压法，流量传感器流量法，背压流量检测法，压力/真空腔测量检测，氦气泄漏检测等方法.
1、直压法－检测操作过程是这样的：对工件的被测容腔在一定压力条件下（具体压力参数由生产线检测工艺规程决定）进行充气、保持一定时间后，切断被测工件和气源气路USON压力传感器记录下此时的压力示值，经过一定时间（数秒或数十秒）后，再次读取压力示值并和前次记录的压力示值进行比较。若被测容腔有泄漏，则两次压力示值有一个差值。此差值大小反映工件在检测时间周期内的泄漏状态，差值越大表示工件泄漏越严重。只要此差值在允许范围内，即可认为被测工件合格。反之，为不合格。
2、压差法- 差压型气密仪的检测操作过程和直压型的差别主要是利用“标准品”作为参照物在相同的过程和状态条件下， 比较被测工件与“ 标准品” 的差异来判断被测工件是否合格。其检测过程如下：
首先在气密仪标示的标准品端接上标准品（标准品可以是一个被用多种方法检测合格并被确认为可以作为衡量其他与之相同的被测工件标准的工件或特定制品），然后同时对标准品与被测工件容腔充气（充气压力、时间等参数由工艺程确定），经过一段数秒或数十秒的平衡时间后，将标准品与工件被测容腔*隔断进行数秒或数十秒的压力监视后比较二者的压力示值差，这个压力差就是工件被测容腔的压力泄漏值，若其值在允许范围内内认为被测品合格，否则判为不合格。
3、大流量传感器流量检测法-流量式检漏仪工作原理是向被检工件内不间歇充入一定压力气体，以质量流量计或体积流量计感测充入工件气体流量的变化，以此来判定工件泄漏量是否在工艺要求合格范围内。流量法的特点是测量信号与被测容积的大小无关，测量信号直接反映气体泄漏量。若感测元件是差压流量计则为差压流量法，其检漏仪为差压流量检漏仪；若是质量流量计则为质量流量法，其检漏仪为质量流量检漏仪。通常采用质量流量法。对于泄漏速率小于8.3立方厘米/秒的零件，一般不采用这种检测方法。
4、背压流量检测法-这种流量检测法是使用压力传感器测量由于被测零件对气体的约束所造成的背压。传感器连接在通往被测零件的气路上。有时使用变量限流阀，通过限制调节器的流量增加检测仪的分辨率。
5、压力/真空腔测量检测-这种检测方法需要使用气密性空腔，在检测过程中将被测零件封在其中。安装压力传感器，测量腔内的压力。然后对零件或空腔充压。系统测量腔内压力是否变化。检测用的气源始终是已知的固定量气体。这项技术特别适用于密封的、无法直接冲压或排气的零件。
6、氦气泄漏检测-在其他对泄漏检测精度要求低于0.001 立方厘米/秒的行业中，氦气质量光谱分析检测方法被广泛应用。在大多数的设备的样机应用中，精度的要求不必要的，它们更关注于检测时间与成本。在氦气质量检测方法中，被检测设备用氦气加压，质量流量由检测室的质量光谱采样分析仪检测出来。这种方法的设备成本、维护与氦气成本，相对于没必要对低于103 SCCS 的泄漏速度进行监测的应用更加昂贵，因此，该方法仅仅被典型地应用在要求*苛刻的设备的泄漏检测中。
