晶圆专用接触角测量仪

晶圆专用接触角测量仪接触角原理：

所谓接触角，指在一固体水平平面上滴一液滴，固体表面上的固—液—气三相交界点处，其气—液界面和固—液界面两切线把液相夹在其中所成的角。

晶圆专用接触角测量仪规格参数：

1.   测量范围：0～180°

2.   分辨率：0.01°

3.   测值精度：±0.1°(θ/2 法)

4.   仪器尺寸：约W600×D1200×H800mm

5.   仪器重量：约18kg

6.   使用电源：1∮ AC220V 50HZ

晶圆专用接触角测量仪硬件指标：

1. 样品台及其控制：

1.1. 样品台移动：

X×Y行程：100×100mm手动，精度：0.1mm

Z行程：25mm手动，精度：0.01mm

1.2. 样品台大小：Ø400mm(可选配真空吸盘)

1.3. 样品台旋转：水平旋转

1.4. 水平控制：样品台水平控制、镜头水平控制和整机四脚水平

2. 进液系统及其控制：

2.1. 进液系统：手控式*系统

2.2. 进液器：高精度可更换针头气密玻璃针管50ul、100ul

2.3. 针头：0.7mm标准针头、聚四氟乙烯针头

2.4. 进样器控制：

X×Y行程：12.5×12.5mm手动，精度：0.01mm

Z行程：25mm手动，精度：0.01mm，实现移液及焦距对焦功能

2.5. 进样模式：程序设置进样区域，多点自动按序拍摄，统一分析，自动计算，一键得出结果

3. 成像系统及其控制：

3.1. 镜头控制：一维俯仰控制

3.2. 镜头：0.7～4.5×光学连续变倍，250mm工作距离，55～320pixel/mm有效像素

3.3. 相机系统：工业级超低照度摄像头，水平750线，0.0005Lux照度

3.4. 相机通讯：进口芯片系列CMOS传感器，25帧/秒的速度，1280H×1024V分辨率

3.5. 背景光：可调亮度LED冷光源，36个光源点，进口亚克力遮光片技术

晶圆专用接触角测量仪软件特点：

1.   接触角分析方法：量高法、量角法、拟合法、插板法、悬滴法、自动法等共6种分析方法；

2.   接触角数据求取方式：全自动测值和人工修整相结合，按测试→自动拍照→查找敏感点→计算接触角值→显示计算结果，整个过程无须人工干预，以降低人为因素影响；

3.   接触角量测技术：数学模型拟合与真实液滴轮廓实际量测相结合，解决非对称图像测值问题

4.   测试液滴状态：悬滴法、停滴法(2/3态)、气泡虏获法、插板法等共4种；

5.   曲面修正：上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正；

6.   动/静态接触角测试，可测试前进角/后退角/倾斜角和滚动角等；

7.   拍摄图像方法：单张或25帧/秒连续拍摄；

8.   左右接触角可分别计算与比较，软件自动求取平均接触角值；

9.   强大的数据库管理功能：备份、压缩、导出Excel表格，测值及曲线拟合结果均可保存至导出的图片上，直观明了；

10.  视频拍摄功能：拍摄AVI格式的影视图像，可用于PPT文件制作等；

11.  多种表面自由能估算模型，不但能分析低能固体表面，也能分析高能固体表面。

晶圆专用接触角测量仪售后服务：

1. 免费保修2年，终身维修。2年后如需更换零配件只核收成本费，无其它费用产生；

2. 开通电话服务专线：，24小时内回复用户，72小时内上门调试维修；

3. 定期上门巡回服务，检查设备运行状况，对设备进行维护和保养；

4. 长期为用户免费提供产品使用说明书、维护咨询、技术咨询等服务；

5. 针对使用电脑软件控制的仪器，可定期免费提供软件升级和技术支持。

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