这款纳米定位平台X-TRIM是美国Nutec公司高速高精度真空纳米定位平台和纳米位移平台,它采用*技术设计,具有单轴或精密的双轴配置两种选择,适合高真空环境和非磁性定位应用.
纳米定位平台X-TRIM采用了陶瓷伺服电机驱动，非常适合要求精度达到纳米或压纳米的高精度和高重复精度的应用，例如：精密生命科学仪器、显微成像、纳米准直、微纳加工、光学精确定位等。
X-TRIM纳米定位平台特色
10nm分辨率非接触线性编码系统
双驱动任选:线性伺服或压电驱动
高密度滚珠传导增加稳定性
超紧凑的单轴或双轴纳米位移台
紧凑型封装
可真空使用
*工作能力，大吞吐量
纳米定位平台X-TRIM采用无铁芯直接驱动直线电机,驱动轴位于纳米位移台的中心线, 这种设计消除了非中心驱动导致的偏航,空回等问题.
纳米定位台集成了一个高分辨率(12.5nm)非接触式线性编码器,它为闭环的伺服系统工作操作提供了精密反馈, 它的标准配置就可以提供纳米精度的定位.
纳米定位平台使用能够了精密的滚珠导向系统确保了位移平台高精度性能和严格的轨迹控制。
纳米定位平台也适合OEM使用,它具有较低抛面和较小尺寸，采用模块化设计，用户可堆叠使用创建多轴多部件系统。
这款纳米定位平台使用了非接触式直接驱动技术，提供坚固，精确，高速的定位，满足高频率大工作量的需要。纳米定位平台使用了*的无铁直线电机直接确定技术，确保异的纳米级定位性能。
这款纳米定位台提供了高速度，高精度，高分辨率，高性能的表现。它与传统的丝杠驱动或压电驱动相比，具有更大的工作效率和吞吐量。
纳米定位平台X-TRIM参数
行程(mm): 25和50mm(单轴或双轴)
驱动系统: 无铁芯直线电机或陶瓷伺服电机
加速度: 由负载决定
速度: 200mm/s (无负载时)
推力: 24N
负载: 2Kg
精度: +/-1um/25mm
TTL分辨率: 1-100nm/脉冲
构造材料: 铝合金主体, 灰色氧化镀膜
重复精度: 5倍精度
| 型号 | XT25 | XT50 | XT2525 | XT5050 |
行程 | 25mm | 50mm | 25x25mm | 50x50mm |
轨迹控制参数 |
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精度 |
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线性编码器精度 | ± 1.0 μm | ± 2.0 μm | ± 2.0 μm | ± 4.0 μm |
平整度/直线度 | ± 1.0 μm | ± 1.0 μm | ± 2.0 μm | ±2.0 μm |
Yaw/Pitch/Roll | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec |
2维双轴系统参数 |
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正交性 |
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标准版正交性 | NA | NA | 5 arc-sec | 5 arc-sec |
高精度版正交性 | NA | NA | 2 arc-sec | 2 arc-sec |
*精度版正交性 | NA | NA | 1 arc-sec | 1 arc-sec |
