六轴并联定位平台70.42采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。
六轴并联定位平台70.42采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。
六轴并联定位平台70.42规格参数
负载:500g (5N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造(根据用户要求)
垂直载荷Fv:5N
Θx:14 °
Θy:16 °
Θz:28 °
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
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