压电旋转定位台SR-4011是采用压电旋转台技术的压电旋转定位器,采用压电电机驱动可实现360度无限旋转。
压电旋转定位台SR-4011集成光学编码器确保闭环定位分辨率（低于1μrad）和重复精度（高达5μrad）。
我们为用户提供几种标准压电旋转定位台方便用户选择,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有压电旋转定位台都可以根据用户需求定制.
压电旋转定位台规格参数
压电旋转定位台SR-4011集成光学编码器确保闭环定位分辨率（低于1μrad）和重复精度（高达5μrad）。
我们为用户提供几种标准压电旋转定位台方便用户选择,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有压电旋转定位台都可以根据用户需求定制.
压电旋转定位台规格参数
| 型号 | SR-4011 | SR-4513 |
| 口径 | 9mm | 8mm |
| S闭环传感器分辨率 | 15μ° | 15 μ° |
| 角度分辨率 | < 1 μ° | <1 μ° |
| 扫描范围 | > 4 m° | > 4 m° |
| 行程范围 | ∞ | ∞ |
| 定位台尺寸 | 40x 40x 11 mm3 | 45 x 45 x 12.5 mm3 |
| 负载 | 10N(1Kg) | 20N(2Kg) |
| 适合真空度 | 10-6 mbar | 10-11 mbar |
| 角速度 | 15度/秒 | 15度/秒 |
| 步进 | 0.3 – 2.0 m° | 0.3 – 3.0 m° |
| 频率 | 18.5KHZ | 18.5KHZ |
| 阻尼力Mb | 5N cm | 5N cm |
| 正向力Fn | 10N | 20N |
| 旋转台尺寸 | Ø31mm | Ø 36 mm |
| 重量 | 60g | 89g |
| S闭环分辨率 | 15 μ° MSC/SDC | 15 μ° MSC/SDC |
| L闭环传感器分辨率 | 60 μ° | 60 μ° |
| L闭环分辨率 | 60 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU | 60 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU |
| M闭环传感器分辨率 | 500 μ° | 500 μ° |
| M闭环分辨率 | 500 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU | 500 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU |
压电旋转定位台SR-4011材料和真空选项
钢底座（-ST）
硬端止动块，样品短管支架
-真空（10-6m Bar）
压电旋转定位台应用案例
压电旋转定位台搭建的3D晶圆定位系统（4英寸晶圆）
压电旋转定位台应用案例
压电旋转定位台搭建的3D晶圆定位系统（4英寸晶圆）
