纳米垂直定位台具有独立导轨,确保负载方向直线运动。并可以集成多种定位编码器用于直接位置反馈。
纳米垂直定位台专业为垂直升降定位而设计,可额外装备恒力弹簧抵消负载,从而获得平稳的更大负载值。
纳米垂直定位台采用纳米编码器可托举高达10kg负重升降数毫米高度,多轴系统可以在三个轴向提供更高阻尼力。
纳米垂直定位台系列规格参数
型号 | SHL-1D20N-10 | SHL-1D80N-1 | SHL-3D5N-1 |
分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
负载 | 20N(2kg) | 80 N (8 kg) | 5 N (500g) |
适合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
行程范围 | 10mm(+/-5mm) | 1mm | 1mm |
步进 | 10-300nm | 1 – 150 nm | 1 – 150 nm |
扫描范围 | >500um | > 500 µm | > 500 µm |
扫描分辨率 | <1nm | < 1 nm | < 1 nm |
速度 | >5mm/s | > 1 mm/s | >5mm/s |
频率 | 10KHz | 10 kHz | 10 kHz |
正向力Fn | 20N | 80N | 5N |
升力Fl | 20N | 80N | 5N |
尺寸2 | 65 x 75 x 50 mm^3 | 41 x 86 x 50 mm3 | 100 x 140 x 40 mm3 |
重量 | 400g | 340g | 650g |
Closed-Loop-S 传感器分辨率1 | 1nm | 1nm | 1nm |
Closed-Loop-S 重复精度2 | +/-100nm | +/-100nm | +/-100nm |
Closed-Loop-L 传感器分辨率 | 4nm | 4nm | 4nm |
Closed-Loop-L 闭环分辨率 | +/-500nm(H)CU,4nm MCS | +/-500nm(H)CU,4nm MCS | +/-500nm(H)CU,4nm MCS |
Closed-Loop-L 重复精度 | +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS | +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS | +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS |
1)重复精度是全行程测量数据,行程小时重复精度更高
2) 尺寸和其它处理工艺可定制