纳米线性位移平台SLLV42可由我们的任何控制单元操作,也可用于高真空应用。
纳米线性位移平台SLLV42规格参数
型号 | SLL12 | SLLA42 | SLLV42 |
分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
负载 | 30N(3kg) | 30N(3kg) | 30N(3kg) |
适合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
行程范围 | 70~475mm | 70~1480mm | 70~1480mm |
步进1 | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm |
扫描范围 | >1.5um | >3um | >3um |
扫描分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
速度 | >20mm/s | >20mm/s | >20mm/s |
频率 | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz |
阻尼力Fb | >3N | >5N | >5N |
正向力Fn | 30N | 30N | 30N |
升力Fl | >1N | >1.5N | >1.5N |
尺寸 | 33.8 x 27 x 13 mm3 | 54 x 60 x 16 mm3 | 54.8 x 60 x 16 mm3 |
重量 | 44g | 148g | 148g |
钢轨重 | 59 g / 100 mm | 286 g / 100 mm | 286 g / 100 mm |
pitch俯仰力矩Mp | 6Nm | 25Nm | 25Nm |
yaw偏航力矩My | 6Nm | 25Nm | 25Nm |
roll扭转力矩Mr | 11Nm | 90Nm | 90Nm |
Closed-Loop-S 传感器分辨率 | 1nm | 1nm | 1nm |
Closed-Loop-S 重复精度 | ± 70 ~450 nm 2 | ± 70 ~450 nm 2 | ± 70 ~450 nm 2 |
多运载滑块
沉头孔、螺纹孔(M4)
黑色阳极氧化(-BK)
闭环所需的螺纹孔M4
-HV (10-6 mbar) 3
纳米线性位移平台SLLV42配件
纳米线性位移平台SLLV42具有多种配件方便用户使用,可以配备各种规格的适配板,也可集成压电驱动导轨用于搭建各种复杂纳米定位系统。
纳米线性位移平台SLLV42配件-被动运载滑块-可以安装到各种导轨上,方便移动定位样品
纳米线性位移平台SLLV42配件-终点阻挡器-安装到线性定位台上方便阻挡滑块脱轨
纳米线性位移平台SLLV42配件-宽定位台适配器-能够适配不同宽度的纳米线性定位台
纳米线性位移平台SLLV42应用案例
我们采用两个纳米线性位移平台SLLV42和一套SR-7012纳米旋转定位台组成了3D纳米微操作器,能够负载300克样品,在XY和旋转方向为用户提供纳米定位,可用于真空环境,非常适合用于SEM扫描电子显微等样品定位。