型号：新宇宙式特气检测部 PS-7（半导体工厂用）
特性：专为半导体行业定制，传感器自由更换，维护方便
检测对象：半导体材料气体
检测方式：
特点： 带有气体采样流量自动控制功能
LCD显示，现场状态一目了然
实现小型、轻量化
可简单地更换传感器和采样气路
带有防止传感器单元错误插入的功能
可以设定多样的维护模式
组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等
实现了用PDA读取数据
符合CE规格，SEMI规格
日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪
型号 | PS-7 |
标准型 | 附带转换器组件型 |
检测原理 | •定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式 •热分解+定电位电解式 |
采样方式 | 泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自动控制） |
采样配管 | 特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内 |
气体浓度显示 | 液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图 |
报警接点 | •气体报警（1段以及二级） 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示 •流量降低报警 堵塞指示显示：流量显示为低速运转 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态 •传感器故障报警/传感器误插入报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 CONV.显示 |
外部输出 | 气体浓度模拟输出 DC4~20mA（与电源的负极通用） 气体报警接点（1段以及两极） 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 （开路集电极/自动复位） |
适合电缆线 | 控制用屏幕电缆线（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露） |
使用电源 | DC24V±10% |
消耗电力 | 约7w |
尺寸 | •W62xH124xD143mm(除去突起物) •W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物) |
重量 | 约1.0kg |
安装方法 | 壁挂式 |
