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高速扫描和高精度
在过去的25年里,ZEISS PRISMO已经成为了测量实验室内高速扫描和高精度测量的代名词。ZEISS PRISMO是精密测量的参考标准,*遵循了ISO质量标准。这在非常注重精度且不能
接受准确性存在偏差的领域。
ZEISS PRISMO可实现高度扫描和优异的灵活性
加快测量速度ZEISS VAST Navigator技术
在保证测量精度的前提下,可自动配置扫描可使用的高速度。
ZEISS CALYPSO VAST Probing技术 (CVP)
采用CVP可以以足够的精度显著减少单点测量时间,让测量时间减少25%。
ZEISS REACH技术
可旋转测头为ZEISS VAST gold增添了灵活性,可搭配ZEISS PRISMO使用。这种创新型探头具有无极旋转角度,非常适合执行需要不同探测角度的测量任务。ZEISS REACH技术地将灵活性与ZEISS VAST gold的高精度、高效相结合。
ZEISS CALYPSO Pallet Optimizer选项
在批量测量中优化探针更换策略,从传统的“一次一个吸盘”方法,转变为“根据元素使用的探针进行分组,对整个托盘进行测量”,大大缩短了测量时间,从而提高了工作效率并节省了成本。
更精确的测量结果
使用了ZEISS PRISMO ultra的经验、技术,将E0精度提高了约20%,该测量机集成了:ZERODUR®光栅尺 扩展CAA校正功能
Top Performance
凭借优化的形状测量值,ZEISS PRISMO属于同类产品中性能的机器:
- 绩效指标:同等时间内,MPE_THP比PRISMO提高31%
- 形状精度指标:MPE_RONt 提高30%
配备ZERODUR®光栅尺,实现高分 辨率
配备80nm分辨率的浮动式ZERODUR® 光栅尺,消除了温度梯度对精度的影响,无需额外的温度传感器。
确保高精度
ZEISS PRISMO verity符合德标VDI/VDE 2627对“3类”测量室的要求。只需19°至22°C温度范围的空调室,即可满足所有测量需求。
优异的精确性和复现性
- ZERODUR®光栅尺,分辨率为20nm
- 改良的空气轴承校正功能
- 主动气浮阻尼系统
- 花岗岩平台的热弯曲补偿
- 防止来自地面的热辐射
确保质量的形状测量
RA-AB select 转台(选项)可在ZEISS PRISMO ultra上进行形状测量,确保环规的校准值优于0.2μm!这些值在与的德国机构合作后到了确认。遵循黄金法则,可确保形状测量的公差为2-3μm。
蔡司采用个性化的安装流程,确保让 您满意
为了履行这一承诺,蔡司在安装完成后会进行精度验证,由训练有素的服务工程师进行验收测试。
确保获得高精度的结果
通过改进的CAA方法,例如校准球的弯曲校正,完善的矢量校准和用于RT测量的专用CAA校正,可以获得*的精度,从而确保了形状的精准测量。