差压式与热式质量流量计的性能对比
差压式与热式质量流量计的性能对比
V10FC系列气体质量流量控制器/流量计(以下称MFC/MFM)通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量，这种测量方式具有固有的线性,重复性好,高精度,无需预热,温漂小等特点。本产品可以同时测量4种参数：气体的瞬时流量、累计流量、温度和绝压，并且可以同时显示和输出。
虽然传统的热式原理不需经过温压补偿即可以直接测量气体的质量流量,但是热式原理产品具有先天性的缺陷：长期加热的工作模式产生的热漂移,反应速度慢等缺点是不可避免的,而采用差压原理的MFC/MFM几乎无零点和温度漂移,反应速度快,无需预热,上电即可操作,解决了长期困扰客户的问题。目前，一些的热式流量计厂家正在纷纷开发差压式质量流量计。
Sailsors研发和生产差压式质量流量产品已有十余年的历史，广泛应用于各类需精确检测和控制气体流量的设备上。本资料中的V10FC系列是Sailsors根据市场需求推出的以高精度和多功能为特色的普及型产品。
差压式与热式质量流量计的原理性能对照表
指标 | V10FC差压式原理 | 传统热式原理 |
原理 |
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传感器 | 温度、压力、差压三支传感器 | RTD或热电偶 |
响应时间 | MFM:10毫秒MFC:100毫秒 | 0.8～10秒 |
显示屏 | 标准内置 | 外部二次仪表 |
预热 | 无需预热 | 15～30分钟 |
热漂移 | 无 | 有 |
累计流量 | 标准内置,不限显示位数 | 外部二次表,限位数显示 |
输出信号 | 质量流量、体积流量、温度、压力 | 质量流量 |
转换系数 | 无需转换系数直接得出质量流量 | 引用进口产品气体转换系数 |
气体测量 | 测量空气氮气以外的气体时，转换系数准确 | 测量空气氮气以外的气体时，转换系数不准确 |
精度 | ±0.8%读数,±0.4%可选 | ±1～2%F.S |
长期稳定性 | ±0.1%F.S/年 | 无明确指标 |
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