技术特点：
1.敞开式的测量空间，量程增至20.40.18；
2.精密的三角梁，结构紧凑，具有的刚性比；
3.整体式的燕尾导轨，三面闭环，提供了业内最稳固的结构；
4.全铝框架，机身自重小，运行稳定；
5.远置的电机，减小了电机发热对测量机精度的影响；
6.德国海德汉光栅，一端固定，一端弹性连接，保证了光栅随温度的线性变化；
7.获得的气动平衡技术，提高了测量机的精度和稳定性。
参数：
1.敞开式的测量空间，量程增至20.40.18；
2.精密的三角梁，结构紧凑，具有的刚性比；
3.整体式的燕尾导轨，三面闭环，提供了业内最稳固的结构；
4.全铝框架，机身自重小，运行稳定；
5.远置的电机，减小了电机发热对测量机精度的影响；
6.德国海德汉光栅，一端固定，一端弹性连接，保证了光栅随温度的线性变化；
7.获得的气动平衡技术，提高了测量机的精度和稳定性。
参数：
| 型号 | 行程范围（mm） | 外形尺寸（mm） |
| 15.20.14 | 1500X2000X1350 | 2388X3280X4385 |
| 15.26.14 | 1500X2600X1350 | 2388X3880X4385 |
| 15.33.14 | 1500X3300X1350 | 2388X4580X4385 |
| 20.33.15 | 2000X3300X1500 | 2888X4580X4686 |
| 20.40.15 | 2000X4000X1500 | 2888X5240X4686 |
| 20.33.18 | 2000X3300X1800 | 2888X4580X5286 |
| 20.40.18 | 2000X4000X1800 | 2888X5240X5286 |
E0：自3.0 μm起
