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CV-3100/CV-4100
X轴 | 测量范围 | 100mm或200mm | |
分辨率 | 0.05μm | ||
测量方法 | 反射型光栅尺 | ||
驱动速度 | 80mm/s和手动 | ||
测量速度 | 0.02-5mm/s | ||
测量方向 | 向前/向后 | ||
直线度 | 0.8μm /mm,2μm/mm(当X轴在水平方向上) | ||
指示精度 （20℃） | ±（1+0.01L）μm（CV-3100S4,H4,W4） ±（0.8+0.01L）μm（CV-4100S4,H4,W4） ±（1+0.02L）μm（CV-3100S8,H8,W8） ±（0.8+0.02L）μm（CV-3100S8,H8,W8） L为驱动长度（mm） | ||
倾斜范围 | ±45° | ||
Z2轴（立轴） | 垂直行程 | 300mm或500mm | |
分辨率 | 1μm | ||
测量方法 | ABSQLUTE光栅尺 | ||
驱动速度 | 0-20mm/s和手动 | ||
Z1轴 | 测量范围 | ±25mm | |
分辨率 | 0.2μm(CV-3100系列) 0.05μm(CV-4100系列) | ||
测量方法 | 光栅尺（CV-31000系列） Laser holigage（CV-4100系列） | ||
指示精度 （20℃） | ±(2+14H/100）μm(CV-3100系列) ±(0.8+12H/00)0.05μm(CV-4100系列) H为水平位置上的测量高度（mm） | ||
探针上下运作 | 弧形运动 | ||
探针方向 | 向上/向下 | ||
测力 | 30mN | ||
跟踪角度 | 向上 | 77° | |
向下 | 87° | ||
探针针尖 | 半径 | 25μm | |
| 材料 | 硬质合金针尖 | |
基座尺寸（WxH） | 750x600mm或1000x450mm | ||
基座材料 | 花岗岩 | ||
重量 | 主机 | 140kg（S4） 150kg（H4） 155kg（W4） 145lg（S8） 155kg（H8） 160kg（W8） | |
控制装置 | 14kg | ||
遥控箱 | 0.9kg | ||
电源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
能耗 | 400W主机 | ||
