激光干涉仪在工业制造行业发挥着重要作用。它以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量，可以检测加工中心及机床、三坐标测量机的各项精度参数，使被加工工件符合标准，提高了产出的整体质量度。中图仪器品牌的激光干涉仪能实现线性定位精度、直线度、角度、回转轴等几何量测量功能，同时结合不同的光学镜组，还能检测运动导轨的俯仰角、直线度和垂直度、扭摆角，记忆校准机床的回转轴精度。
产品参数
技术指标
全套系统
主要镜组为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。
机床应用案例
测量机床回转轴精度
测量机床直线度
数控机床精度校准
中图仪器品牌的激光干涉仪采用氦氖激光器作为光源。其精度高，空气湍流、热波动等影响甚微，因此降低了对环境条件的要求，使它不仅能用于实验室，还可在车间条件下测量大距离用。激光千涉传感器可应用于精密长度计量，如线纹尺和光栅的检定，量块自动测量，精密丝杆动态测量等，还可用于工件尺寸、坐标尺寸的精密测量中。
