高频输出：300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）
电极尺寸：250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）
适用于研究开发的小型等离子清洗机。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
■ 用途
● CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
● 去除有机膜和金属氧化膜
● 印刷电路基板的干式清洗
● 界面活性处理
● LED封装。
■ 特征
● DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）
● RIE模式
● 均匀性高的电极构造
● 操作简单的触摸屏控制器。
■ 规格
型号 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
等离子模式 | RIE（DP模式选配） | RIE/DP | |
电极构造 | 平行平板（固定） | ||
高频输出 | Max300W | Max500W | |
频率 | 13.56MHz | ||
控制·显示 | 液晶触摸屏 | ||
反应室尺寸 | W400×D250×H150mm | W500×D300×H200mm | |
电极尺寸 | W250×D170mm | W400×D200mm | |
反应室材质 | 铝 | ||
反应气体 | 2系统（Ar、O2） | ||
填充气体 | N2或干燥空气 | ||
反应气体流量控制 | 流量计 | 聚合控制器 | |
真空泵 | 另行选配 | 油泵（约345L/分）标配 | 油泵（约500L/分）标配 |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个 | ||
外形尺寸 | W540×D600×H600mm | W540×D600×H600mm | W700×D700×H1285mm |
重量 | 约100kg | 约105kg | 约180kg |
电源 | 单相 AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |
