无尘洁净烤箱特点：
本公司HSCOL-2D系列无尘烤箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤，强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到佳温度控制精度。无尘洁净烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
无尘洁净烤箱详细资料：
一．特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 10
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 10,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
二．执行与满足标准
1.GB/T11158-1989高温试验箱技术条件
2.GB2423.2-1989试验B
三．洁净烤箱用途
无尘适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
无尘洁净烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
四．洁净烤箱技术参数
1.名称及型号：无尘洁净烤箱
2.主要技术指标：
2.1无尘等级：Class 10;
2.2温度范围： 60～ +300℃；
2.3温度均匀度：200℃±3℃、300℃±4℃;
2.4温度波动度：±0.5℃（空载）
2.5温控精度：±0.1℃;
2.6洁净烤箱搁板为活动形式。(两箱式)
2.7电源：380v , 50Hz，12Kw
3、洁净烤箱箱体结构：
3.1洁净烤箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方；
3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
3.3箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘；
3.4内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。
4、温控系统
4.1采用日本OMRON E5A型温度控制器，控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定，精确度±0.3%FS。；
4.2讯号来源：采日制进口CA感应棒±0.5%。
4.3输出被控制组件：SSR无接点讯号输出。
5、完善的安全保护措施：
漏电断路器、
控制线路保险丝装置、
超温防止保护装置、
电热过电流保护装置、
马达过电流保护、
机台异常蜂鸣器警示
逆向防止器、
门面安全开关
6、选购设备：
6.1 可程式温控器
6.2六点温度记录仪
6.3三色指示灯
6.4烘烤架
其他款式：
