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  • TKF超高纯金属微型气体过滤器METAL系列 隔膜阀

TKF超高纯金属微型气体过滤器METAL系列 隔膜阀

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  • 型号
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新时间2022-10-30
  • 厂商性质生产厂家
  • 入驻年限1
  • 实名认证已认证
  • 产品数量44
  • 人气值457
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公司旗下拥有LANTO®、BY-LOK®等行业品牌,自主研发及生产气体半自动切换汇流排、气体减压器、管阀件、接头;气体混合配比仪;超高纯供气面板;特气柜、VMB阀门箱;科研测试设备;超高压、超低温气体系统;高真空系统;气体取样系统等产品,经*实验室检测合格,广泛应用于高校实验室、科研检测单位、半导体、微电子、生物制药、医疗、光伏、LED、石油化工、电力、新材料、新能源等领域。

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TKF超高纯金属微型气体过滤器316L不锈钢结构,体积小、100%氦泄漏试验、冲击或振动可靠性高DI水清洗后用热氮烘焙达到半导体工艺标准。
TKF超高纯金属微型气体过滤器METAL系列 隔膜阀 产品详情
  • 品   名:微型气体过滤器


    品   牌:  TKF


    阀体材质:316L不锈钢

     

    产品信息:

    1、316 L不锈钢结构;


    2、高温动态压力应用;


    3、体积小,冲击或振动可靠性高;


    4、宽范围流量从30到120 SLPM;


    5、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性;


    6、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降;


    7、5ra电抛光表面防止内部污染;


    8、DI水清洗后用热氮烘焙,达到半导体工艺标准;


    9、100级制造、清洁及包装环境;


    10、99%氦泄漏试验。

     

关键词:过滤器 标准
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