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产品特点：
光学面材料：Au,Ni,Mo,etc...
*的复制技术
光谱范围：EUV(60-200eV)
SXR（200-2000eV）
j镜片形态：椭球镜，抛物面镜，也可根据需求定制其他非球面镜
典型表层粗糙度：Ra≈0.3-2nm
典型尺寸：直径（D）5-250mm;长度（L）10-100mm
2.MFO
MFO是一款应用于软X射线和EUV波段的光学器件，有两组相互垂直的极薄反射镜组成，光子通过掠入射角进行反射。MFO一般由玻璃，硅或金属等薄片组装而成。
可根据客户要求定制多种形状（如龙虾眼，Kirkptrick-Baez等）
产品特点：
光学面材料：Au,Ni,Mo,etc...
宽视场（max±60°）
薄片厚度：30μm-1mm
孔径：3x3mm-300x300mm
能量范围：50eV-10keV)
平面，椭圆，和一般非球面
玻璃、硅和金属
表层材料：Au, Ni, Mo, Pt, W...
1.基本参数：
 |  |
| Figure1: Geometry of an ellipsoidal mirror | Figure2: Geometry of a parabolic mirror |
| Type | L | D1 | D2 | Z1 | Zd | Divergence |
| [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mrad] | |
| RE_08 | 50 | 6 | 10.5 | 72 | 1000 | 12 |
| RE_09 | 100 | 56.6 | 70 | 45 | 300 | 450 |
| RE_10 | 100 | 78 | 113 | 2450 | 2660 | 90 |
| RO_001 | 68 | 11.6 | 14 | 145 | 270 | X |
Figure3: Parameters of standard mirrors
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Figure4: Ellipsoidal mirror, Ni active surface, L=100mm | Figure4: Ellipsoidal mirror, Au active surface, L=80mm |
2.MFO
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| 激光等离子体源， Xe和Kr EUV辐射的聚焦强度分布。 | MFO elliptical Kirkpatrick-Baez system. MFO椭圆K-B系统。 |
