产品技术指标
Hi-Smarc-Ⅲ-PO激光干涉仪
主要功能：测量平面光学元件的表面面形和透射光学元件的综合波前
a) 类型：菲索干涉原理
b) 口径：φ25.4mm
c) 显示方式：CCD+显示器
d) 光源：半导体激光，波长λ=635nm
e) 测量重复性：PV优于λ/50，RMS优于λ/100
f) 平面精度：PV（平面上点到点的差异值又称峰谷值）优于λ/20（635nm/20大约32nm），
g) 主机重量：6.5KG
h) 外形尺寸：260×160×330mm
i) 电源：220V 50HZ
j) 量化测试时间：大约2～3秒/次
分析系统（软件及计算机）
1、计算机：专用计算机及10寸以上液晶显示器
2、输出数据：
峰谷值（PV）、标准偏差（RMS）、二维等值图（等高图）、干涉条纹图；
域值设定(OK或NG)、数据可保存、可输出打印测试报告；
开放数据输出格式，方便后续分析；
3、测量功能
系统在WINDOWS 7或10下运行，允许进行网络数据传输；
具有干涉图亮度的软件调节机制；
4、 提供移相器校正软件，用户可自行修正移相器位移误差。
5、 提供软件升级、维护、售后技术支持及使用培训、硬件维修；
