| 设备名称 | 三靶射频磁控溅射镀膜仪--VTC-3RF （2019.5.27--科晶实验室审核） |
| 产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 |
| 主要特点 | ·标配的石英腔体（也可选配金属腔体）方便观察（图1） ·相比传统溅射仪，体积小巧，拆装方便（图2） ·模块化设计，靶头，电源等多种可选，自由DIY（图3） ·基台可旋转可加热 ·可溅射金属和氧化物。实验室已初步制备了 氧化锌、碲化铋、ITO、ATO、AU、Ag、Cu、Al、Mg、Sc等薄膜。 图一 图二 图三 |
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| 基本参数 | 1、输入电源：220V AC50/60Hz 2、设备功率：<> 3、靶台加热温度：500℃ 4、样品台转速：0-10r/min 5、靶头可调倾角：0-25度 6、溅射腔体尺寸：278mm OD x 272mm ID x310mm H。 7、靶材尺寸要求：1英寸磁控溅射靶头Φ25.4mm ×（0.1-3）mm(厚度） 2英寸磁控溅射靶头Φ50mm ×（0.1-3）mm(厚度) 8、使用功率：1英寸磁控溅射靶头100W 2英寸磁控溅射靶头300W 更多参数请联系科晶销售部 |
| 机体结构 | ·设备配备三个直流射频通用靶头，1英寸2英寸尺寸可选。 ·仪器中安装有直径为50mm的不锈钢可旋转样品台，加热温度是500℃（图1） ·配有300W自动匹配射频电源和500W的直流溅射电源（可自由选择）（图2） ·设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶（图3） ·配有靶头电动升降台（图4） ·配有高纯石英密封罩（图5） 图一 图二 图三 图四 图五 |
| 产品外形及尺寸 | 700mm L x 770 mm W x 1900 mm H 净重：80 kg（不包括泵） |
| 质量认证 | CE认证 |
| 质保 | 一年保修，终身技术支持。 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
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