| 设备名称 | 三温区1500℃ PECVD系统—OTF-1500X-III-4CV-PE-SL （2019.11.14-科晶实验室审核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品特点 | ▪ 带有石英观察窗口的不锈钢真空密封法兰，便于观察等离子发光（图1）； ▪ 射频电源可实现等离子增强，从而显著降低实验温度； ▪ 四通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控； ▪ 此款设备可安装控制模块，将温度设置和温度曲线导入到电脑（图2、3）； ▪ 此款设备可选配控温精度为±0.1℃的欧陆仪表（图4）。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 基本参数 | ▪ 工作温度1500℃（<> ▪ 三个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃，带有超温和断偶保护； ▪ 输入电源： 208-240V，AC，单相；功率：6.6 KW； ▪ 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。（点击图片查看详细资料） ▪ 注意：此设备不标配炉管。购买前请与我们销售确定炉管相关事宜。
更多参数请联系科晶销售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射频电源 | ▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 真空系统 | ▪ 采用TRP-12的双旋真空泵； ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ▪ 真空度可达10-2Torr。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 供气系统 | ▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）； ▪ 流量范围:
▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz； ▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管； ▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出； ▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品尺寸和重量 | ▪ 炉体尺寸：550mm L ´380mm W´520mm H ▪ 炉体下端移动柜：1800mm L´600mm W´600mm H ▪ 净重：100 kg ▪ 运输重量：550 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 认证 | ▪ CE认证 ▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证 ▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承诺 | ▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件） |
