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  • 三温区1500℃ PECVD系统OTF-1500X-III-4CV-PE-SL

三温区1500℃ PECVD系统OTF-1500X-III-4CV-PE-SL

参考价
面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新时间2022-01-22
  • 厂商性质其他
  • 所在地区北京市
  • 实名认证已认证
  • 产品数量590
  • 人气值1790
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     壮仕科技有限公司是一家代理、经销国内外分析仪器、环保仪器、生命科学仪器、电化学仪器设备及耗材、实验室常规设备、生化试剂耗材以及玻璃仪器的专业公司。本着“以质量为依托,靠服务求生存”的宗旨,进行科学管理,不仅为客户提供高品质的分析仪器,更致力于为所有客户提供完整的解决方案。从度身定制产品,专业技术支持,到完善的售后服务,令所有的客户称心满意。

       公司人员均是北京各大高校的毕业生,立足于高校,利用自身日常使用仪器的一些知识为更多用户提供优质的服务。

      

       公司在电化学领域,依托与北京理工大学环境能源中心,不断加强与清华大学、北京科技大学、北京化工大学、北京大学、物理所、哈尔滨工业大学、鼎能开源、有色金属研究总院、机电研究院等高校及研究所的合作。


      通过与电化学领域的厂家,包括上海辰华(CHI系列电化学产品)、科晶集团(MTI锂离子电池实验室加工设备、管式炉、箱式炉、磨抛设备)、武汉蓝电(LAND电池测试设备)、PINE旋转圆盘电极、Arbin电化学测试系统等的合作,不断为广大电化学研究者提供面、颖的研究设备和的服务。        

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设备名称三温区1500℃PECVD系统—OTF-1500X-III-4CV-PE-SL(2019
三温区1500℃ PECVD系统OTF-1500X-III-4CV-PE-SL 产品详情
设备名称

三温区1500℃ PECVD系统—OTF-1500X-III-4CV-PE-SL (2019.11.14-科晶实验室审核)

产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示  4、配件妥善保管提示


产品特点

▪ 带有石英观察窗口的不锈钢真空密封法兰,便于观察等离子发光(图1);

▪ 射频电源可实现等离子增强,从而显著降低实验温度;

▪ 四通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控; 

▪ 此款设备可安装控制模块,将温度设置和温度曲线导入到电脑(图2、3);

▪ 此款设备可选配控温精度为±0.1℃的欧陆仪表(图4)。


产品特点图1.JPG  产品特点图2.jpg       产品特点图3.PNG       图片1.png



基本参数

▪ 工作温度1500℃(<>

▪ 三个PID温度控制器及30段可编程温控系统,控温精度:±1℃,带有超温和断偶保护;

▪ 输入电源: 208-240V,AC,单相;功率:6.6 KW;

▪ 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层,可以提高设备加热效率及反射率,同时延长仪器的使用寿命。(点击图片查看详细资料)

▪ 注意:此设备不标配炉管。购买前请与我们销售确定炉管相关事宜。


图片1.png      图片2.png



更多参数请联系科晶销售部

射频电源

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择,以满足不同实验条件的需求。


 

300W射频电源

500W射频电源

100W射频电源

输出功率

0-300W可调

(稳定性:±1%)

0-500W可调

(稳定性:±1%)

0-100W可调

(稳定性:±1%)

射频频率

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

匹配

自动匹配

自动匹配

手动匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷却方式

风冷

风冷

风冷

输入电压

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

图片

300W射频电源.jpg

500W射频电源.jpg

100W射频电源.png



真空系统

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵;

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

▪ 真空度可达10-2Torr。

低真空系统.png


供气系统

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);

▪ 流量范围:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


▪ 电压:208-240V, AC, 50/60Hz;

▪ 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。


四通道质子图1.jpg  四路质子图2.png


产品尺寸和重量

▪ 炉体尺寸:550mm L ´380mm W´520mm H

▪ 炉体下端移动柜:1800mm L´600mm W´600mm H

▪ 净重:100 kg

▪ 运输重量:550 kg

认证

▪ CE认证

▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

▪ 如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证


图片5.jpg


承诺

▪ 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)

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