特征：
• 高精度触针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
• X1轴和Z2轴的大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。
• X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。
• Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
• Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。
• CS-5000CNC带有a轴，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
• 带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。
• 可选的外部控制功能(外部I/O)，与PLC实现双向通信(RS-232C)。
| 货号 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
| X1 轴 | 测量范围 | 200mm | ||
| 分辨力 | 0.00625µm | |||
| 长度基准 | 激光全息测微计 | |||
| 驱动速度 | CNC型 | 大40mm/s | ||
| 操纵杆 | 0 - 40mm/s | |||
| 测量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓) | |||
| 测量方向 | 向前/ 向后 | |||
| 直线度 | (使用标准测针) | (0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm) | (0.05+0.0003L)µm L: 驱动长度 (mm) | |
| (使用二倍长型测针) | (0.2+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm) | (0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm) | ||
| 精度 (20ºC) | ±(0.3+0.002L)µm L: 驱动长度 (mm) | ±(0.16+0.001L)µm L: 驱动长度 (mm) | ||
| Z1 轴 (检出器) | 测量范围 | (使用标准测针) | 12mm | 12µm |
| (使用二倍长型测针) | 24mm | 24µm | ||
| 分辨力 | (使用标准测针) | 0.004 µm | 0.001 µm | |
| (使用二倍长型测针) | 0.008 µm | 0.002 µm | ||
| 测针针尖垂直运动 | 弧形移动 | |||
| 长度基准 | 激光全息测微计 | |||
| 精度 (20ºC) | (20ºC) ±(0.3+|0.02H|)µm H: 测量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)µm H: 测量高度 (mm) | ||
| 测力 | (使用标准测针) | 4mN (固定) | ||
| (使用二倍长型测针) | 0.75mN(固定) | |||
| 跟踪角度 | 向上: 60º, 向下: 60º, (根据表面粗糙度) | |||
| 测针针尖形状 | 标准测针 | 针尖角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖 | ||
| 标准球头测针 | 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 2倍测针 | |||
| 2倍测针 | 针尖角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖 | |||
| 2倍测针 | - | 针尖角度: 60º, 针尖半径: 2µm, 金刚石针尖 2倍球头测针 | ||
| 2倍球头测针 | 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 | |||
| 测针方向 | 向下 | |||
| Z2 轴 (立柱) | 行程范围 | Z2 轴 (立柱, S 型) | 300mm | |
| Z2 轴 (立柱, H 型) | 500mm- | |||
| 分辨力 | 0.05µm | |||
| 长度基准 | 反射型线性编码器 | |||
| 驱动速度 | CNC型 | 大200mm/s | ||
| 操纵杆 | 0 - 50mm/s | |||
| 基座尺寸 (W×D) | 750×600mm | |||
| 基座材料 | 花岗岩 | |||
注:虽然天然石材测量桌的外观各有不同，但材料的稳定性是值得信赖的。
