- 概述
- 下载
功能
CVD 应用
- 晶片计量建模(薄膜应力、薄膜厚度)
- 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制
- FDC(例如等离子体不稳定性、充电)
- 腔室匹配(射频指纹)
- PVD 应用
- 晶片计量建模(电阻率)
- FDC
- 腔室匹配(射频指纹)
- 蚀刻应用
- 晶片计量建模(蚀刻速率)
- 对过程腔室提供的真正功率进行有功功率控制
- FDC
- 腔室匹配(射频指纹)
手册
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