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  • Stripe™ CDG100Dhs   0.1 ... 1000Torr / mbar

Stripe™ CDG100Dhs 0.1 ... 1000Torr / mbar

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  • 更新时间2022-03-07
  • 厂商性质其他
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INFICON 致力于一系列的慈善活动,旨在支持公司的战略业务目标,改善我们员工的工作与生活社区的生活品质。 INFICON 以货币和志愿者资源的方式作出慈善贡献。商业行为和道德准则在 INFICON,我们致力于诚实守信地从事商业活动,遵守的道德和法律准则。 每个 INFICON 的员工都应该承诺遵守这些职业道德行为准则。INFICON 商业行为与道德准则本商业行为与道德规范准则(“准则”)旨在阐明 并公布有关 INFICON(“公司”或 “INFICON”)期望公司董事、部门经理以及雇员坚持的商业行为的一般声明。 此准则不具排他性: 公司职员还应遵守公司其它不时生效的适用政策。 本准则适用于公司、所有子公司及其在世界范围内控制的其它经营组织。INFICON 的此项政策要求在恪守高度诚信准则和遵守所有适用法律法规的条件下从事所有公司业务。据此 INFICON 的所有董事、部门经理和雇员都必须做到以下几点:1. 诚实守信,当个人利益和公司利益在实际中发生明显的冲突时,要以道德的方式解决。2. 执行官、高级财务官和其他负责准备、评估和公布 INFICON 财务信息的负责人应当在 INFICON 与瑞士交易所和美国证券交易委员会一起归档或者 INFICON 提交给瑞士交易所和美国证券交易委员会的报告和文档中,以及由 INFICON 公布的公开信息中披露完整、公正、准确、及时和可以理解的信息。3. 遵守联邦、州、省和地方政府以及其它相关的私人和公共管理机构的适用法律法规。 在努力遵守上述准则的过程中,INFICON 的所有董事、部门经理和雇员应当具备良好的判断力和常识,并且在遇到疑问时请求指导。4. 如遇到违反准则的情况,请寻求指导并立即将证据报告给阁下的上司,如果必要,可提交到 INFICON 董事会的审计委员会。:Dr. Thomas Staehelin, Postfach 2879, St. Jakobs-Strasse 7, CH-4002 Basel, Switzerland。 我们将对电话、详细信息和/或电子邮件保密。对于秉诚行事汇报违规行为的员工,不得对其实施 任何报复行为。 违反该准则的董事、部门经理和雇员将受到纪律处分,最严重处罚包括解雇和接受法律制裁。 董事会对审定背离或违背该准则的执行委员和董事具有的权力和裁量权。 撤销或放弃使用此准则应通过与美国证券交易委员会编档立即公布。环境、健康与安全政策INFICON 最注重保护所有员工的健康和安全。 我们采用了适当的政策和程序,旨在确保 INFICON 符合或*适用的健康和安全法律及法规,以及现行的行业标准。我们努力全面实施所有安全政策和程序。 INFICON 管理层意识到环境保护作为现行运营活动一部分,居于首要地位。 INFICON 致力于坚持的伦理与道德标准从事各种商业活动,遵守所有相关的法律法规。负责任且高效地使用环境资源,而不是单纯地防止和最小化污染,这是 INFICON关注的焦点。 INFICON 通过减少污染、再利用和回收等方式,主动管理有效的资源消耗。INFICON 承诺执行并继续改进文件形式的“环境管理系统”。 我们已培训员工尽全力地执行以上的政策。通过将此政策公布于众,并保持与内部和外部有关当事人的可行沟通,INFICON 认识到自己作为社会一分子所应承担的责任和应扮演的角色。
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Stripe™ CDG100Dhs 0.1 ... 1000Torr / mbar
Stripe™ CDG100Dhs 0.1 ... 1000Torr / mbar 产品详情

好处

  • 高生产力 - 响应时间快于 2 ms
  • 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
  • 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
  • 忘记重新校准 - 90ppm/年稳定性

典型应用

  • 原子层沉积
  • 高速过程控制
  • PVD、CVD、蚀刻
  • 一般高温真空应用

规格

类型 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.4
温度效应      
零点 percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
满量程 % of reading / °C 0.02 0.02 0.02
压力, kPa (absolute) 400 260 130
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003
读数 percent FS 0.01 0.01 0.01
建议的读数 percent FS 0.05 0.05 0.05
建议的控制压力 percent FS 0.5 0.5 0.5
温度      
运行(环境) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
在法兰处烘烤 °C ≤110 ≤110 ≤110
贮存 °C –20 … +85 –20 … +85 –20 … +85
电源电压 +14 … +30 VDC or±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗      
加热时 W ≤16 ≤16 ≤16
运行温度 W ≤11 ≤11 ≤11
输出信号(模拟) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Measurement rate kHz 1 1 1
反应时间 (2) ms 2 ... 20 2 ... 20 2 ... 20
Signal processing time ms 2 2 2
保护等级 IP 30 IP 30 IP 30
标准      
CE 合规 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
电气连接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
设定点      
设定点数量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
继电器触点 ≤30 ≤30 ≤30
滞后 percent FS 1 1 1
诊断端口      
协议 USB USB USB
读数 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
设置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容积      
内部容积 1/2'' 管 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量      
重量 1/2'' 管 g 837 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875 875
重量 8 VCR® g 897 897 897
EtherCAT      
协议 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通讯标准 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
节点地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
数字功能设置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
邮箱 (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
过程数据 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
EtherCAT 连接器 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
Signal processing time ms 2 2 2

(1) 非线性,迟滞,在 25°C 环境工作温度中的可重复性,2 小时工作后无温度影响。

(2) 提高 10 … 90 % FS

CDG100Dhs Stripe PIM Ordering Information.png

数据表

手册

手册

三维步骤文件

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