好处
- 的跨度稳定性 - 独立于气体类型
- 防腐蚀氧化铝传感器
- 紧凑型,同级中的最小尺寸
- 易于集成,任何安装方向
- 数字信号处理
- 免维护
典型应用
- 真空涂层
- 真空监测
- 消毒
- 食品和包装
- 真空烤箱,牵引机
- 分析
- 化学真空过程
规格
类型 | 10 ... 1000 Torr / mbar | |
---|---|---|
精度 (1) | ||
3CA3-xxx-xxx | % of reading | 1 |
3CA4- | % of reading | 0.5 |
温度效应 | ||
零点 | percent FS/°C | 0.02 |
满量程 | % of reading / °C | 0.02 |
分辨率 | percent FS | 0.05 |
长时间稳定性 | percent FS/yr. | 0.5 |
读数 | percent FS | 0.05 |
温度补偿范围 | °C | +10 … +50 |
容许温度 | ||
运行(环境) | °C | 0 … +70 |
在法兰处烘烤 (2) | °C | ≤110 |
贮存 | °C | –20 … +85 |
环境湿度限值 | percent RH | <80%,>80%,> |
电源电压 | V (dc) | +13 … +30 |
功耗 | W | ≤0.3 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
输出电压 | V (dc) | +10.24 |
反应时间 (3) | ms | 100 |
保护等级 | IP 40 | |
标准 | ||
CE 合规 | EMC (EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS | |
ETL 认证 | UL 61010‑1, CAN/CSA C22.2 No.61010‑1 | |
SEMI 合规 | SEMI S2 | |
电气连接 | ||
3CAx-xxx-0000 | FCC, 8-pin | |
3CAx-xxx-0100 | D-Sub, 9-pin, male | |
3CAx-xxx-0A00 | Binder M12, 8-pin, male | |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel 1.4404 (AISI 316L) | |
密封度 | mbar•L/s | <>-9 |
安装定位 | any | |
内部容积 | ||
1/2" tube | cm³ (in.³) | 3.6 (0.219) |
DN 16 ISO-KF | cm³ (in.³) | 3.7 (0.226) |
DN 16 ISO-CF | cm³ (in.³) | 5.0 (0.305) |
4 VCR 阳性 | cm³ (in.³) | 6.1 (0.372) |
4 VCR 阴性 | cm³ (in.³) | 5.6 (0.342) |
8 VCR 阴性 | cm³ (in.³) | 5.1 (0.311) |
重量 | ||
1/2" tube | g | ~94 |
DN 16 ISO-KF | g | ~110 |
DN 16 ISO-CF | g | ~135 |
4 VCR 阳性 | g | ~123 |
4 VCR 阴性 | g | ~133 |
8 VCR 阴性 | g | ~159 |
维修 | none |
(1) 非线性,迟滞,在 25 °C 环境工作温度中的可重复性,2 小时工作后无温度影响。
(2) 非运行
(3) 提高 10 ... 90% FS

数据表
手册
手册
三维步骤文件
视频