设备名称 | 催化再生式氩气净化机 | |
设备型号 | CZA-4C | |
处理量 | ≤4Nm3/h | |
原气 要求 | 纯度 | 氩气纯度>99.95% |
杂质含量 | O2<1000ppm;H2O<1000ppm | |
输出 纯气 | 纯度 | >99.999% |
杂质含量 | O2≤0.5ppm; H2O≤2ppm(即露点≤-70℃); CO+CO2≤0.1ppm; 尘埃粒子数(≥0.3um)3~5个/升 | |
工作压力 | ≤1.0Mpa | |
电 源 | 220V/50Hz/10A 1.6Kw | |
设备外形尺寸 | 440mm×560mm×1220mm | |
设备重量 | 120Kg | |
备 注 | CZA-4C净化机只能将99.95%的氩气净化为99.999%,不能净化氩气中的氮气。 |